[實用新型]一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構

有效

• 申請號: 202220223053.X
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN216891175U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 馬高;何江海;朱浩良;鄧曉良
• 申請（專利權）人: 蘇州吉恒納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 蘇州新知行知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32414
• 代理人: 陳勐哲

1.一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：包括靶材，繞著靶材正面的邊緣設有一圈凸起的靶材圍邊，使靶材整體厚度達到10-11mm，所述靶材圍邊為圓環形，靶材圍邊外側壁為圓柱形，靶材圍邊的端面為向內傾斜的環形坡面，靶材圍邊內側壁與環形坡面之間通過圓倒角過渡連接。

2.根據權利要求1所述的一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：所述靶材的背面為圓形，靶材背面的直徑與靶材圍邊外側壁直徑相等，沿著靶材背面邊緣周向等角度錯開設有多個螺紋孔，螺紋孔開設在靶材圍邊的軸向覆蓋范圍內。

3.根據權利要求2所述的一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：所述靶材背面貼緊安裝有石墨片，石墨片的邊緣處設有與螺紋孔一一對應的圓孔。

4.根據權利要求3所述的一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：所述石墨片的外側設有銅背板，銅背板邊緣設有與圓孔一一對應的安裝孔，銅背板、石墨片和靶材背面通過多個沉頭螺絲壓緊安裝。

5.根據權利要求4所述的一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：所述銅背板為圓臺型，其內側端面直徑小于外側端面直徑，沉頭螺絲從銅背板的外側端面依次穿過銅背板、石墨片和靶材背面固定連接在螺紋孔中。

6.根據權利要求4所述的一種利用率高的多弧離子鍍靶材結構，其特征在于：所述銅背板的厚度為3.5mm。