[實用新型]一種具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針有效
| 申請號： | 202220192651.5 | 申請日： | 2022-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN217717871U | 公開（公告）日： | 2022-11-01 |
| 發明（設計）人： | 錢曉晨;王文濤;朱杰;府金庭 | 申請（專利權）人： | 蘇州和林微納科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 李妹明 |
| 地址： | 215000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 刻蝕 mems 懸臂梁 探針 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，包括依次連接的針頭、懸臂梁和針尾，其特征在于，所述針頭包括基部和針尖部，所述基部成型于懸臂梁上，所述針尖部成型于基部上遠離懸臂梁的一端，該針尖部的上端面為平面，且該針尖部的至少一側的側壁為斜面結構。
2.根據權利要求1所述的具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，其特征在于，所述針尖部相對兩側的側壁分別為垂直面和第一斜面，該針尖部另外相對兩側的側壁分別為第二斜面和第三斜面。
3.根據權利要求2所述的具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，其特征在于，所述第二斜面和第三斜面相對稱。
4.根據權利要求2或3所述的具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，其特征在于，所述第一斜面與水平面的夾角均小于第二斜面和第三斜面分別與水平面的夾角。
5.根據權利要求1所述的具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，其特征在于，所述懸臂梁中部設有水平貫穿孔。
6.根據權利要求5所述的具有刻蝕尖部的MEMS懸臂梁探針，其特征在于，所述水平貫穿孔自懸臂梁的一端延伸至另一端。
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