[實用新型]一種單晶爐加熱裝置和單晶爐

有效

• 申請號: 202220190193.1
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN217203057U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 吳文華;楊樹榮;楊思琪;匡志宗;鄭宇哲;王德濤;甫雨芊;劉錦章;胡永嬌;楊開剛
• 申請（專利權）人: 保山隆基硅材料有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 王勝利

1.一種單晶爐加熱裝置，包括用于套設在單晶爐的坩堝外部的發熱環，其特征在于，所述發熱環軸向方向的兩側分別為第一側和第二側；所述發熱環由多個U形條沿圓周方向間隔排布連接而成，所述多個U形條的槽口端位于所述發熱環的同一側且平齊連接，相鄰兩個所述U形條之間形成間隔槽；所述U形條包括多個第一U形條和多個第二U形條，所述第一U形條和所述第二U形條的材質和導通截面均相同，所述第一U形條的高度大于所述第二U形條的高度，以使所述第一U形條的阻值大于所述第二U形條的阻值，使所述發熱環形成縱向溫度梯度差與水平溫度梯度差。

2.根據權利要求1所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述第一U形條和所述第二U形條交替設置。

3.根據權利要求2所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述第一U形條和所述第二U形條沿所述發熱環的圓周方向均勻設置。

4.根據權利要求1所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述第一U形條和所述第二U形條的平均高度為180mm～200mm，所述第一U形條的高度與所述第二U形條的高度的差值為20mm～40mm。

5.根據權利要求1所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述發熱環設置有兩個，由上至下依次為第一發熱環和第二發熱環，所述第一發熱環和所述第二發熱環的軸線相互重合；

所述第一發熱環的第一U形條的封口端與所述第二發熱環的第二U形條的封口端在所述發熱環的軸向上對應且相互靠近設置；

所述第一發熱環的第二U形條的封口端與所述第二發熱環的第一U形條的封口端在所述發熱環的軸向上對應且相互靠近設置；

所述第一發熱環的所述間隔槽與所述第二發熱環的間隔槽在軸向上對應設置。

6.根據權利要求5所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述發熱環設置有三個，由上至下依次為第一發熱環、第二發熱環和第三發熱環，所述第一發熱環、所述第二發熱環和第三發熱環的軸線相互重合；

所述第三發熱環的槽口端與所述第二發熱環的槽口端同向設置，且所述第三發熱環的間隔槽與所述第二發熱環的槽口端對應且設置。

7.根據權利要求6所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述第一發熱環和所述第二發熱環之間的距離為50mm～80mm，所述第二發熱環和所述第三發熱環之間的距離為140mm～180mm。

8.根據權利要求1所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，所述發熱環設置有至少三個，由上至下依次同軸線布置，且相鄰兩個發熱環之間的距離依次遞減或遞增，以形成縱向溫度梯度差。

9.根據權利要求8所述的單晶爐加熱裝置，其特征在于，還包括至少兩個連接件，所述連接件用于連接相鄰兩個或多個所述發熱環，以通過至少兩個所述連接件將至少三個所述發熱環拼接。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括權利要求書1至9任一項所述的單晶爐加熱裝置。