[實用新型]一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置

有效

• 申請號: 202220184560.7
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN217009148U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 張玉翻
• 申請（專利權）人: 無錫德藝馨科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 無錫松禾知識產權代理事務所(普通合伙) 32316
• 代理人: 楊欠欠

本實用新型公開了一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置，包括儲存柜和罩設在儲存柜外側的防護罩；所述儲存柜的下方設置有電磁鐵和若干移動輪；所述防護罩固定設置在底板上，所述底板位于儲存柜的下方，所述底板上與若干移動輪相對應處開設有若干豎向通孔，所述底板的上表面設置有與所述電磁鐵相配合的磁性金屬件；所述儲存柜的一側設置有柜門，所述防護罩為半包圍結構，所述防護罩上與所述柜門相對應處設置有罩體缺口；所述底板的下板面設置有粗糙摩擦墊。本實用新型具有良好的防碰撞功能，能夠避免外物碰撞導致晶圓受損，且儲存裝置移動方便。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶圓儲存設備，尤其涉及一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置。

背景技術

在半導體晶圓生產加工完成后，有時需要將半導體晶圓進行暫時性儲存。外物碰觸到儲存裝置時會產生振動，容易造成半導體晶圓受損，現有的儲存裝置的防護效果不佳，不具備防碰撞功能，存在改進空間。

發明內容

發明目的：為了克服現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置，具有良好的防碰撞功能，能夠避免外物碰撞導致晶圓受損，且儲存裝置移動方便。

技術方案：為實現上述目的，本實用新型的一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置，包括儲存柜和罩設在儲存柜外側的防護罩；所述儲存柜的下方設置有電磁鐵和若干移動輪；所述防護罩固定設置在底板上，所述底板位于儲存柜的下方，所述底板上與若干移動輪相對應處開設有若干豎向通孔，所述底板的上表面設置有與所述電磁鐵相配合的磁性金屬件；儲存柜通過電磁鐵和磁性金屬件可以吸起底板，使底板的上板面與儲存柜的下底相貼。

所述儲存柜的一側設置有柜門，所述防護罩為半包圍結構，所述防護罩上與所述柜門相對應處設置有罩體缺口。

所述防護罩是由若干框條狀材料組成的鏤空罩體。

所述底板的下板面設置有粗糙摩擦墊；當底板與儲存柜相互分離時，底板下板面通過粗糙摩擦墊與地面相接。

所述儲存柜的下底四角處設置有錐形孔，所述底板的上端四角處設置有錐形插塊。

所述電磁鐵設置在所述儲存柜的下底中心處，所述磁性金屬件設置在所述底板的上端中心處。

有益效果：本實用新型的一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置，其有益效果如下：

1)當儲存柜停在某處時，底板與儲存柜相互分離，底板下端的粗糙摩擦墊與地面相接，固定在底板上的防護罩對儲存柜進行防護，可以有效避免外物直接碰觸儲存柜；

2)當需要移動儲存柜時，通過儲存柜下端的電磁鐵和底板上端的磁性金屬件將底板吸起，使粗糙摩擦墊離開地面，儲存柜移動時可以帶動防護罩移動。

附圖說明

附圖1為本實用新型的平面示意圖；

附圖2為本實用新型的底部示意圖；

附圖3為儲存柜的結構示意圖；

附圖4為防護罩的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作更進一步的說明。

如附圖1至4所述的一種帶有防護罩體的半導體晶圓儲存裝置，包括儲存柜1和罩設在儲存柜1外側的防護罩2。所述儲存柜1的下方設置有電磁鐵3和若干移動輪4。所述防護罩2的下端固定設置在底板5上，底板5為水平板體，所述底板5位于儲存柜 1的下方，所述底板5上與若干移動輪4相對應處開設有若干豎向通孔6，豎向通孔6 的豎向投影面積要大于移動輪4的豎向投影面積。所述底板5的上表面設置有與所述電磁鐵3相配合的磁性金屬件7，儲存柜1通過電磁鐵3和磁性金屬件7可以吸起底板5，使底板4的上板面與儲存柜1的下底相貼。