[實用新型]硅棒研磨裝置、硅棒研磨機及硅棒切磨一體機

有效

• 申請號: 202220176175.8
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN217860707U
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 盧建偉;潘雪明;李鑫
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34;B24B47/22;B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 上海明倫知識產權代理事務所(普通合伙) 31369
• 代理人: 張明

1.一種硅棒研磨裝置，其特征在于，應用于一硅棒加工設備，所述硅棒研磨裝置包括：

磨具安裝結構，設于所述硅棒加工設備的機座上；以及

研磨磨具，設于所述磨具安裝結構上；所述研磨磨具包括磨頭座、與所述磨頭座同軸設置的旋轉接頭、以及設于所述磨頭座上相互嵌套的第一研磨砂輪和第二研磨砂輪，其中，所述第一研磨砂輪和所述第二研磨砂輪中的至少一個設有氣動伸縮機構或液壓伸縮機構。

2.根據權利要求1所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述硅棒研磨裝置包括一個研磨磨具或并行設置的多個研磨磨具。

3.根據權利要求1所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述硅棒研磨裝置包括對向設置的至少一對研磨磨具，所述至少一對研磨磨具之間形成研磨空間。

4.根據權利要求1所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述第一研磨砂輪嵌套于所述第二研磨砂輪之內。

5.根據權利要求4所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述第一研磨砂輪設有第一氣動伸縮機構或第一液壓伸縮機構，所述第一氣動伸縮機構或第一液壓伸縮機構包括：

第一充氣泵或第一液壓泵；

第一腔室，位于所述第一研磨砂輪沿伸縮方向的第一側；所述第一腔室通過第一流道與所述充氣泵或第一液壓泵相連，所述第一流道經由所述旋轉接頭貫穿所述磨頭座；以及

第二腔室，位于所述第一研磨砂輪沿伸縮方向的第二側；所述第二腔室通過第二流道與所述充氣泵或第一液壓泵相連，所述第二流道經由所述旋轉接頭貫穿所述磨頭座。

6.根據權利要求5所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述硅棒研磨裝置包括轉軸，所述轉軸中與所述第一研磨砂輪和第二研磨砂輪關聯的一端設有端蓋結構，所述端蓋結構與所述第一研磨砂輪和第二研磨砂輪配合形成第一腔室和第二腔室。

7.根據權利要求4所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述硅棒研磨裝置包括轉軸，所述轉軸的第一端與所述第一研磨砂輪和第二研磨砂輪關聯，所述轉軸的第二端與所述旋轉接頭關聯；所述第一研磨砂輪設有第二氣動伸縮機構或第二液壓伸縮機構，所述第二氣動伸縮機構或第二液壓伸縮機構包括：

第二充氣泵或第二液壓泵；

第三腔室，位于所述旋轉接頭沿伸縮方向的第一側；所述第三腔室通過第三流道與所述第二充氣泵或第二液壓泵相連，所述第三流道設于所述旋轉接頭內；以及

第四腔室，位于所述旋轉接頭沿伸縮方向的第二側；所述第四腔室通過第四流道與所述第二充氣泵或第二液壓泵相連，所述第四流道設于所述旋轉接頭內。

8.根據權利要求7所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述旋轉接頭關聯有活塞，所述活塞與所述旋轉接頭的殼體配合形成第三腔室和第四腔室。

9.根據權利要求8所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述活塞和所述旋轉接頭之間設有軸承。

10.根據權利要求4所述的硅棒研磨裝置，其特征在于，所述第一研磨砂輪為粗磨砂輪，所述第二研磨砂輪為精磨砂輪；或者，所述第一研磨砂輪為精磨砂輪，所述第二研磨砂輪為粗磨砂輪。

11.一種硅棒研磨機，其特征在于，包括：

機座，具有硅棒加工平臺；所述硅棒加工平臺包括研磨區位；以及

如權利要求1至10中任一項所述的硅棒研磨裝置，設于所述硅棒加工平臺的研磨區位，用于對所述研磨區位處的硅棒進行研磨作業。