[實(shí)用新型]一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220152228.2
• 申請日: 2022-01-18
• 公開（公告）號: CN216891211U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 衛(wèi)新宇;陳龍威;張文瑾;林啟富;劉成周;江貽滿
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 江亞平

1.一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：包括微波電源(1)、磁控管(2)、環(huán)形器(3)、矩形波導(dǎo)(4)、模式轉(zhuǎn)換器(5)、同軸波導(dǎo)(6)、內(nèi)導(dǎo)體(7)、排氣口(8)、進(jìn)氣口(9)、空心圓柱襯底(10)、壓力控制裝置(11)、石英管(12)、密封裝置(13)、真空腔室(14)；所述空心圓柱襯底(10)、石英管(12)與所述密封裝置(13)組成真空腔室(14)；所述進(jìn)氣口(9)開設(shè)于密封裝置(13)的下端，且排氣口(8)開設(shè)于另一端的密封裝置(13)的上側(cè)；所述壓力控制裝置(11)安裝于進(jìn)氣口(9)的上端；所述石英管(12)設(shè)于內(nèi)導(dǎo)體(7)的外側(cè)，且放置于真空腔室(14)內(nèi)部，并與密封裝置(13)相連；所述同軸波導(dǎo)(6)安裝于密封裝置(13)的兩側(cè)，通過內(nèi)導(dǎo)體(7)與模式轉(zhuǎn)換器(5)端部相連接；所述模式轉(zhuǎn)換器(5)的另一端口與矩形波導(dǎo)(4)連接；所述環(huán)形器(3)安置于矩形波導(dǎo)(4)和磁控管(2)之間；所述微波電源(1)安裝于磁控管(2)的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述空心圓柱襯底(10)的內(nèi)壁是鍍膜的區(qū)域，銅、鐵、鋁、金、銀或復(fù)合金屬材料皆可滿足鍍膜所需條件；所述空心圓柱襯底(10)被視為外導(dǎo)體與內(nèi)導(dǎo)體(7)形成同軸傳輸結(jié)構(gòu)，形成均勻等離子體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)導(dǎo)體(7)和石英管(12)的尺寸根據(jù)所述空心圓柱襯底(10)的尺寸和需求靈活調(diào)整。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述微波電源(1)的電磁波頻率根據(jù)場景需求選定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述電磁波頻率于0.915、2.45或2.45-30GHz范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同軸結(jié)構(gòu)微波等離子體鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述壓力控制裝置(11)實(shí)時監(jiān)控所述真空腔室(14)內(nèi)部的壓強(qiáng)，且可隨時數(shù)字化調(diào)節(jié)所述真空腔室(14)內(nèi)部壓力至所需壓力，并保持穩(wěn)定。