[實用新型]一種可維護的四氯化硅汽化器

有效

• 申請號: 202220149742.0
• 申請日: 2022-01-20
• 公開（公告）號: CN216638931U
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 楊曉勇;楊壽欽;李菲菲;王彥萍;喬金花
• 申請（專利權）人: 東營大地硅業有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 徐榮榮

1.一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，包括：

主體(1)；

底座(2)，固定連接在主體(1)的底端；

封頭(3)，連接在主體(1)的一端；

管束組件(4)，固定連接在封頭(3)的另一端且延伸至主體(1)的內部；

限位機構(5)，設置于封頭(3)的外部以及位于主體(1)的內部且延伸至主體(1)的內側，用于主體(1)與封頭(3)的連接；

定位機構(6)，設置于主體(1)的內部且延伸至主體(1)的內側，用于增加主體(1)與封頭(3)的連接力。

2.根據權利要求1所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述限位機構(5)包括有密封環(501)、伸縮塊(502)，所述密封環(501)固定連接在封頭(3)的外壁，所述伸縮塊(502)連接在主體(1)的內部且延伸至主體(1)的內側，所述密封環(501)的一側外壁位于主體(1)的內部連接有第一連接桿(503)，所述伸縮塊(502)的頂端連接有第一定位桿(504)，所述第一定位桿(504)的外壁套接有第一彈簧(505)。

3.根據權利要求2所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述定位機構(6)包括有嚙合在第一連接桿(503)一端的齒輪(601)，所述齒輪(601)的另一端嚙合有第二連接桿(602)，所述第二連接桿(602)的一端滑動連接有延伸至主體(1)內側的擠壓塊(603)，所述擠壓塊(603)的一端設置有與主體(1)內壁通過滑塊滑動連接的第二定位桿(604)，所述第二定位桿(604)的外壁套接有第二彈簧(605)。

4.根據權利要求3所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述擠壓塊(603)的頂端外壁呈斜面狀態，所述封頭(3)的內壁設置有與擠壓塊(603)一端相匹配的凹槽。

5.根據權利要求3所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述齒輪(601)的中心位置處通過轉動桿與主體(1)的內壁轉動連接，所述主體(1)的內壁設置有與擠壓塊(603)移動軌跡相匹配的凹槽，所述擠壓塊(603)與第二連接桿(602)相接觸的位置處設置有與第二連接桿(602)外壁相匹配的滑槽。

6.根據權利要求2所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述主體(1)的內壁設置有與密封環(501)一端相匹配的凹槽，所述密封環(501)的橫截面呈“C”字型結構。

7.根據權利要求2所述的一種可維護的四氯化硅汽化器，其特征在于，所述伸縮塊(502)的底端外壁呈斜面狀態，所述伸縮塊(502)的外壁斜面與擠壓塊(603)的外壁斜面方向相反，所述第一連接桿(503)、第二連接桿(602)相互靠近的一側設置有與齒輪(601)外壁相嚙合的齒條。