[實用新型]一種適用于不同尺寸產品裝夾的工裝治具

有效

• 申請號: 202220146134.4
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN217648226U
• 公開（公告）日: 2022-10-25
• 發明（設計）人: 盧旭彬;吳強;吳平
• 申請（專利權）人: 寧波云德半導體材料有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 杭州五洲普華專利代理事務所(特殊普通合伙) 33260
• 代理人: 侯申飛

本實用新型公開了一種適用于不同尺寸產品裝夾的工裝治具，包括支架、活動板、安裝在支架上的固定板，固定板和活動板均設有若干卡爪，固定板和活動板上相鄰的兩個卡爪之間形成有卡槽，活動板活動安裝在固定板上并在移動到預定位置后用緊固件固定，活動板沿固定板移動過程中活動板的卡爪會遮擋住固定板上的部分卡槽以裝夾不同尺寸的產品。本實用新型具有裝夾尺寸可調節，滿足不同尺寸產品裝夾需求等優點。

【技術領域】

本實用新型屬于治具的技術領域，尤其涉及一種適用于不同尺寸產品裝夾的工裝治具。

【背景技術】

在半導體刻蝕設備以及外延設備中會用到很多精密石英環類部件，這些環類部件基本上都與工藝氣體直接接觸，因此對該類石英部件的表面清洗有最高的要求，防止因石英表面殘留對晶圓表面造成污染，在清洗時需要將石英部件放置在工裝治具上進行固定。由于生產工藝的差異，需要將多規格外徑的石英環類部件放置在同一條洗凈線進行清洗。現有的工裝治具存在只能裝夾一種規格尺寸的石英環類部件裝夾，裝夾尺寸不易調節，影響洗凈效率等問題。

【實用新型內容】

本實用新型的目的就是解決背景技術中的問題，提出一種適用于不同尺寸產品裝夾的工裝治具，能夠使裝夾尺寸可調節，滿足不同尺寸產品裝夾需求。

為實現上述目的，本實用新型提出了一種適用于不同尺寸產品裝夾的工裝治具，包括支架、活動板、安裝在支架上的固定板，所述固定板和活動板均設有若干卡爪，固定板和活動板上相鄰的兩個卡爪之間形成有卡槽，所述活動板活動安裝在固定板上并在移動到預定位置后用緊固件固定，活動板沿固定板移動過程中活動板的卡爪會遮擋住固定板上的部分卡槽以裝夾不同尺寸的產品。

作為優選，所述固定板上設有導向柱，所述活動板上設有滑槽，活動板安裝在固定板后導向柱配合穿過滑槽，活動板移動過程中導向柱沿滑槽線性移動。

作為優選，所述緊固件為鎖緊螺母，所述導向柱上設有外螺紋，鎖緊螺母與導向柱螺紋連接。

作為優選，工裝治具還包括支撐座和活動座，所述支撐座的兩端安裝在支架上并位于固定板的下方，所述活動座活動安裝在支撐座上，所述活動座和支撐座上均設有限位安裝槽。

作為優選，所述活動座上設有導向滑槽，所述支撐座上設有導柱，所述活動座安裝在支撐座后導柱配合穿過導向滑槽，活動座移動過程中導柱沿導向滑槽線性移動。

作為優選，所述導柱外側設有螺紋，所述導柱沿導向滑槽線性移動一定位置后用螺母鎖緊。

作為優選，所述支撐座上設有若干螺紋孔，所述活動座上設有定位孔，所述活動座沿支撐座移動一定距離后用鎖緊螺栓鎖緊，鎖緊螺栓配合安裝在螺紋孔和定位孔上。

作為優選，所述限位安裝槽的數量和卡槽的數量相同。

作為優選，所述固定板和活動板上的卡爪與支架的水平面之間呈銳角設置，卡爪的長度為100～150mm。

作為優選，所述支架包括左墻板、右墻板和底板，所述左墻板和右墻板安裝在底板上，所述固定板的左、右端分別安裝在左墻板和右墻板的內側。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過將活動板活動安裝在固定板上并在移動到預定位置后用緊固件固定，活動板沿固定板移動過程中活動板的卡爪會遮擋住固定板上的部分卡槽，實現工裝治具裝夾尺寸的調節，滿足不同尺寸產品裝夾需求，提高清洗效率。

本實用新型的特征及優點將通過實施例結合附圖進行詳細說明。

【附圖說明】

圖1是一種實施例的結構示意圖；

圖2是一種實施例的局部示意圖；

圖3是一種實施例的固定板示意圖；

圖4是一種實施例的活動板示意圖；