[實用新型]照明單元以及半導體檢測設備

有效

• 申請號: 202220136827.5
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN216817136U
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 李軒;夏世偉;杰夫·貝克;楊立軍;孟慶棟
• 申請（專利權）人: 上海凱世通半導體股份有限公司;北京凱世通半導體有限公司
• 主分類號: G03B15/02
• 分類號: G03B15/02;G03B15/06;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡

1.一種用于半導體檢測設備的照明單元，其特征在于，包括：

發光結構，用于提供檢測光；

腔室，位于所述發光結構的底部，所述腔室具有供所述檢測光通過的開口，所述腔室用于設置待檢測晶圓；

反光結構，在所述腔室中，且位于所述開口和晶圓之間，用于反射所述檢測光至所述晶圓的邊緣。

2.如權利要求1所述的照明單元，其特征在于，所述發光結構包括：

環形安裝部；

第一錐度孔，位于所述環形安裝部的底部，且所述第一錐度孔的頂部為小徑端，所述第一錐度孔的底部為大徑端；

環形光源，沿周向設置在所述第一錐度孔的側壁上。

3.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述第一錐度孔的母線與所述晶圓表面法線的夾角為0度至90度。

4.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述發光結構還包括：勻光板，位于所述第一錐度孔的內壁上，覆蓋所述環形光源。

5.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述環形光源包括多個間隔排布在第一錐度孔側壁的發光二極管。

6.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述第一錐度孔為圓形錐孔或多邊形錐孔。

7.如權利要求1所述的照明單元，其特征在于，所述反光結構包括：

環形反射罩，所述環形反射罩包括第二錐度孔，所述第二錐度孔的頂部開口小于底部開口。

8.如權利要求7所述的照明單元，其特征在于，所述第二錐度孔的底部尺寸大于所述晶圓的直徑。

9.如權利要求7所述的照明單元，其特征在于，所述第二錐度孔側壁上的母線與晶圓表面法線的夾角為0度至45度。

10.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述發光結構還包括：

光源控制器，與所述環形光源連接，用于調節環形光源的亮度；

所述光源控制器包括本地操控面板和/或遠程控制接口。

11.如權利要求1所述的照明單元，其特征在于，所述照明單元還包括：透明窗口，位于所述腔室的開口，用于起到密封所述開口的作用。

12.如權利要求2所述的照明單元，其特征在于，所述發光結構還包括：通孔，位于第一錐度孔的頂部，且貫穿所述環形安裝部。

13.一種半導體檢測設備，其特征在于，包括：

如權利要求1至11任一項所述的照明單元，用于向晶圓提供檢測光；

圖像獲取裝置，位于所述發光結構的頂部，用于獲取晶圓表面圖像；

圖像處理單元，用于對所述晶圓表面圖像進行處理。

14.如權利要求13所述的半導體檢測設備，其特征在于，所述發光結構具有通孔，用于使所述圖像獲取裝置透過所述發光結構的通孔，獲取晶圓表面圖像。