[實用新型]晶圓測試探針卡

有效

• 申請號: 202220132561.7
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN217007432U
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 吳夢麗
• 申請（專利權）人: 普冉半導體（上海）股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 王江富

1.一種晶圓測試探針卡，其特征在于，其包括N個探針卡單元，N為大于1的整數；

每個探針單元設置有電源探針、時鐘探針、寫保護探針、片選探針、輸入探針、輸出探針、接地探針；

同一個探針單元的各探針用于對應壓接到晶圓上的同一個被側芯片顆粒的對應焊盤；

N個探針卡單元的電源探針接同一直流穩壓電源；

N個探針卡單元的時鐘探針接同一時鐘信號；

N個探針卡單元的寫保護探針接同一寫保護信號；

各探針單元的片選探針分別接各自的片選信號；

各探針單元的輸入探針分別接各自的輸入信號；

各探針單元的輸出探針分別接各自的輸出信號。

2.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，

每個探針單元還設置有保持探針，用于壓接到被側芯片顆粒的保持焊盤；

各探針單元的保持探針分別接各自的保持信號。

3.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，

N為2或3。

4.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，

N個探針卡單元的電源探針各自分別經過一繼電器開關同一直流穩壓電源。

5.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，

N個探針卡單元的時鐘探針接時鐘信號的導線使用屏蔽線。

6.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，

鄰接的兩個探針卡單元同晶圓上物理位置相鄰的兩顆被側芯片顆粒位置一一對應。