[實用新型]一種移動式多次送料機構

有效

• 申請號: 202220123384.6
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN217149383U
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 王曉明;宋濤
• 申請（專利權）人: 徐州晶睿半導體裝備科技有限公司
• 主分類號: C30B15/02
• 分類號: C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種移動式多次送料機構，包括：料罐，料罐內存放有硅料，料罐的底部設有出料口，出料口的下方安裝有下料閥；料罐的出料口通過出料管連通至單晶爐主室的進料口，料罐的側壁上端設有抽氣口和進氣口，進氣口通過氬氣閥一與氬氣氣源連通，料罐的一側設有氬氣旁路，氬氣旁路與出料管靠近下料閥的一端連通，氬氣旁路上設有氬氣閥二；抽氣組件，抽氣組件的一端與料罐的抽氣口連通，其另一端與輔泵連通，抽氣組件用于給料罐抽真空；移動小車，料罐可拆卸固定在移動小車上。本實用新型通過將料罐設置于移動小車上，可以實現料罐的轉移，不僅可以給單臺單晶爐多次加料，也可重復給多臺單晶爐使用。

技術領域

本實用新型涉及單晶爐加料技術領域，具體為一種移動式多次送料機構。

背景技術

半導體產業的快速發展促使單晶爐的生產具有連續性，高效性，且需要節省拉晶生產的成本，在單晶爐第一次投料時，由于硅料呈固態顆粒狀，在石英坩堝內成堆積狀態，但是在經過高溫熔化后，硅料變成液態，體積會比原來的固態的體積大幅縮小，石英坩堝的上部還會有很大的空間，這樣會造成拉出的晶棒長度不夠長。多次加料可以在硅料融化成液體后，繼續增加硅料，使石英坩堝內的硅液盡量盛滿，這樣可以在充分利用石英坩堝的體積，一次拉出長的硅棒；因為石英坩堝的一次使用壽命是200小時左右，在使用壽命內，可以多次加料，盡可能的拉出多根晶棒。

現有的加料裝置有如下的弊端:

1.現有的加料裝置一般固定在單晶爐上，每個單晶爐均需要一個加料裝置，機械設計復雜，故障率高，并且會占用單晶爐很大的空間，拆裝都非常困難，而且需要在生產現場往料罐里加料,容易對硅料造成二次污染；

2.只能進行二次加料，不能進行多次的批量加料操作，加入的硅料的重量是有限制的。

實用新型內容

針對上述存在的技術不足，本實用新型的目的是提供一種移動式多次送料機構，以解決背景技術中提出的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

本實用新型提供一種移動式多次送料機構，包括：

料罐，所述料罐內存放有硅料，所述料罐的底部設有出料口，所述出料口的下方安裝有下料閥；所述料罐的出料口通過出料管連通至單晶爐主室的進料口，所述料罐的側壁上端設有抽氣口和進氣口，所述進氣口通過氬氣閥一與氬氣氣源連通，所述料罐的一側設有氬氣旁路，所述氬氣旁路與出料管靠近下料閥的一端連通，所述氬氣旁路上設有氬氣閥二；

抽氣組件，所述抽氣組件的一端與料罐的抽氣口連通，其另一端與輔泵連通，所述抽氣組件用于給料罐抽真空；

移動小車，所述料罐可拆卸固定在移動小車上。

優選地，所述料罐的頂部通過罐蓋密封，所述罐蓋上開設進料口，所述罐蓋上還安裝有真空計和激光料位計。

優選地，所述料罐的底部呈上寬下窄的圓錐狀，所述料罐的底部內側壁上圓周均勻設有水平設置的多個吹氣口。

優選地，所述移動式多次送料機構還包括破拱組件，破拱組件用于防止硅料在下料的過程中起拱，所述破拱組件包括氣罐、氬氣閥三和吹氣管，所述吹氣管與吹氣口一一對應，所述氣罐通過并聯設置的吹氣管與各個吹氣口連通，每個所述吹氣管上均安裝有氬氣閥三。

優選地，所述破拱組件還包括振動電機，所述料罐的底部側壁對稱固定有所述振動電機。

優選地，所述破拱組件還包括氬氣閥四，所述氣罐的進氣口通過所述氬氣閥四與氬氣旁路連通。

優選地，所述抽氣組件包括真空管道，所述真空管道的一端與抽氣口連通，所述真空管道的另一端部安裝有快接插頭一，所述真空管道通過快接插頭一連接至單晶爐副室與輔泵之間的管道上，所述真空管道上安裝有氣動閥一。