[實用新型]一種等離子清洗機

有效

• 申請號: 202220123142.7
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN217121120U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 詹登星;李建華;劉永興;蔡文文;曾令銳
• 申請（專利權）人: 東莞市安動半導體科技有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504
• 代理人: 陳雙喜

1.一種等離子清洗機，其特征在于，包括：

機體(100)，所述機體(100)上安裝有安裝架(110)；

清洗機構(200)，包括安裝于所述機體(100)內的真空泵(210)和設置于所述安裝架(110)且連接所述真空泵(210)的真空腔室(220)；

載料機構(300)，包括安裝于真空腔室(220)內的電極板(320)和設置于所述電極板(320)上的放料區(330)；

自動機構(400)，包括設置于所述機體(100)且位于所述真空腔室(220)左側的送取料組件(410)和左側推板組件，以及設置于所述機體(100)且位于所述真空腔室(220)右側的右推料組件(420)和右推板組件；

升降機構(500)，包括裝配于機體(100)且位于所述右推料組件(420)下方的固定板(510)、安裝于所述固定板(510)側的驅動電機(520)、傳動連接于所述驅動電機(520)驅動端的升降絲桿(530)、卡裝于所述固定板(510)且螺紋連接于所述升降絲桿(530)的升降板(540)和放置于所述升降板(540)上的料盒(550)。

2.根據權利要求1所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述左側推板組件包括安裝于所述機體(100)上的水平氣缸(310)，所述水平氣缸(310)的驅動端設有用于將電極板(320)向料盒(550)一側推出的左側推板，所述右推板組件包括安裝在升降板(540)上的回推氣缸(560)，所述回推氣缸(560)的驅動端設有用于將所述電極板(320)推回原位的右側推板。

3.根據權利要求1或2所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述送取料組件(410)包括安裝于所述機體(100)且位于所述真空腔室(220)左側的送取料滑軌(411)、安裝于所述送取料滑軌(411)側的送取料伺服電機(412)、連接于所述送取料伺服電機(412)的送取料絲桿(413)和螺紋連接于所述送取料絲桿(413)且卡裝在所述送取料滑軌(411)上的送取料安裝板(414)，所述送取料安裝板(414)上設有用于取送物料的夾子(415)。

4.根據權利要求3所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述右推料組件(420)包括安裝于所述機體(100)且位于所述真空腔室(220)右側的推料滑軌(421)、安裝于所述推料滑軌(421)側的推料伺服電機(422)、連接于所述推料伺服電機(422)的推料絲桿(423)和螺紋連接于所述推料絲桿(423)且卡裝在所述推料滑軌(421)上的推料安裝板(424)，所述推料安裝板(424)上設有用于用于從料盒(550)上推出物料的推桿(425)。

5.根據權利要求4所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述電極板(320)上的放料區(330)并排設有多個，所述升降板(540)上設有與放料區(330)數量對應的料盒放置區，所述送取料安裝板(414)上設有與放料區(330)數量對應的多個夾子(415)，所述推料安裝板(424)上設有與放料區(330)數量對應的多個推桿(425)。

6.根據權利要求4所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述機體(100)上開設有位于所述升降板(540)上方的開口，所述右推料組件(420)中的推料滑軌(421)位于所述開口的兩側。

7.根據權利要求1所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述真空腔室(220)上連接有安裝于所述安裝架(110)的排氣凈化設備。

8.根據權利要求5所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述電極板(320)上等距設置有多組定位板，每組所述定位板之間形成前述的放料區(330)。

9.根據權利要求5所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述推桿(425)為柱形結構，且所述夾子(415)和推桿(425)與放料區(330)之間對應設置。

10.根據權利要求1所述的一種等離子清洗機，其特征在于，所述安裝架(110)的側面設有控制真空腔室(220)開關的垂直氣缸(120)。