[實用新型]一種可以降低泡沫量的拋光漿循環裝置

有效

• 申請號: 202220122167.5
• 申請日: 2022-01-18
• 公開（公告）號: CN216681713U
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 羅浩寧
• 申請（專利權）人: 甘肅金陽高科技材料有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/00;B24B57/02
• 代理公司: 蘭州錦科標聯知識產權代理事務所(普通合伙) 62203
• 代理人: 馬英

本實用新型涉及拋光漿循環裝置技術領域，具體涉及一種可以降低泡沫量的拋光漿循環裝置，包括漿料循環桶，其特征在于：所述漿料循環桶上安裝有抽液裝置、攪拌裝置和除沫裝置；所述除沫裝置包括不銹鋼除沫網、旋流分離器、濾網和開口引流槽，所述旋流分離器的頂部側面連接有回漿管，所述旋流分離器的頂部安裝有不銹鋼除沫網，所述旋流分離器的底部連接有濾網，所述濾網的下端連接開口引流槽，所述開口引流槽伸入漿料循環桶內部；其有益效果為：漿料在回流過程中，通過兩級除沫裝置，可有效減少泡沫，且裝置簡單易于生產化；在漿料循環過程中，不用補加消泡劑，避免了消泡劑在工件上的粘附給清洗帶來的不便，降低了成本。

技術領域

本實用新型涉及拋光漿循環裝置技術領域，具體涉及一種可以降低泡沫量的拋光漿循環裝置。

背景技術

目前，手機、平板電腦、液晶顯示等電子產品的玻璃蓋板，水晶掛件，藍寶石、碳化硅襯底，以及各種金屬均需要通過化學機械拋光加工過程實現表面平整化以及提高表面光潔度。

在對蓋板玻璃進行化學機械拋光時，含有磨粒的拋光漿在工件和拋光墊兩者之間流動。此時，由于漿料中的化學物質以及磨料與工件表面產生水解或腐蝕等化學反應，在工件表面形成一層易除去的氧化膜。之后用漿料中的磨料和拋光墊的機械作用將這層膜清除，并隨拋光漿料流走，使得工件裸露出新的表面。此后又經歷拋光漿料的化學腐蝕和機械作用，重新被去除。循環進行上述的拋光漿料對工件的化學機械作用，就完成了對工件的化學機械拋光。

在循環拋光過程中，漿料中的雜質如玻璃、拋光毛刷、拋光皮碎屑的堆積，加上工件與拋光墊之間摩擦會使漿料溫度逐漸升高，漿料的PH值也會升高，會使部分雜質溶解于拋光漿中，導致回流漿料中泡沫越來越多。拋光過程中，通常都會加入消泡劑來消除泡沫，目前，市售消泡劑主要為有機硅類，聚醚類，礦物油類，在拋光漿中加入會有效消除泡沫，但在漿料循環過程中會消耗，需要不斷補加，增加成本。加上消泡劑屬于油性物質，容易粘附在拋光工件上，不利于清洗。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有生產過程中的上述技術問題,提供一種可以降低泡沫量的拋光漿循環裝置。

為了實現上述目的，本實用新型提供的技術方案為：

一種可以降低泡沫量的拋光漿循環裝置，包括漿料循環桶7，其特征在于：所述漿料循環桶7上安裝有抽液裝置、攪拌裝置和除沫裝置；所述除沫裝置包括不銹鋼除沫網3、旋流分離器4、濾網5和開口引流槽6，所述旋流分離器4的頂部側面連接有回漿管11，所述旋流分離器4的頂部安裝有不銹鋼除沫網3，所述旋流分離器4的底部連接有濾網5，所述濾網5的下端連接開口引流槽6，所述開口引流槽6伸入漿料循環桶7內部。

所述抽液裝置包括第一電機8、液下泵1和出漿管9，所述第一電機8安裝在漿料循環桶7的桶蓋701上，所述第一電機8的輸出軸上安裝有液下泵1，所述液下泵1放置在漿料循環桶7內，所述液下泵1上安裝有出漿管9，所述出漿管9伸出漿料循環桶7。

所述不銹鋼除沫網3的上端設有空氣進口12。

所述攪拌裝置包括第二電機10和攪拌槳2，所述第二電機10安裝在漿料循環桶7的桶蓋701上，所述第二電機10的輸出軸上安裝有攪拌槳2，所述攪拌槳2伸入漿料循環桶7內。

所述不銹鋼除沫網3為一級除沫裝置。

所述濾網5為二級除沫裝置。

所述旋流分離器4的錐角為18°。

所述開口引流槽6與漿料循環桶7表面之間的夾角為5°

本實用新型具有以下有益效果：

1、漿料在回流過程中，通過兩級除沫裝置，可有效減少泡沫，且裝置簡單易于生產化；

2.在漿料循環過程中，不用補加消泡劑，避免了消泡劑在工件上的粘附給清洗帶來的不便，降低了成本。