[實用新型]探測裝置

有效

• 申請號: 202220110068.5
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN217238174U
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 山口亨
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 邰琳琳

1.一種探測裝置，用于檢查電子部件的電氣特性，其特征在于，

該探測裝置具備：

多個探針，各探針分別包括柱塞筒和設置于上述柱塞筒的一端部的第一柱塞；

第一支架，具有多個第一通孔，上述多個第一通孔相互并行地配置，并且分別被上述多個探針中的一個探針插入；

第二支架，具有多個第二通孔，并與上述第一支架連結，其中，上述多個第二通孔相互并行地配置，并且分別被上述多個探針中的一個探針插入，

上述第一通孔中的每個第一通孔包括：

第一柱塞筒保持部，在上述第一支架的上述第二支架側的表面開口，并被上述柱塞筒的上述一端部插入；

第一柱塞保持部，與上述第一柱塞筒保持部連通，并且在上述第一支架的與上述第二支架相反側的表面開口，并被上述第一柱塞插入，

上述第二通孔中的每個第二通孔包括：

第二柱塞筒保持部，在上述第二支架的上述第一支架側的表面開口，并被上述柱塞筒的另一端部插入，

上述第二支架中上述第二柱塞筒保持部開口的上述表面與上述第一支架中上述第一柱塞筒保持部開口的上述表面在上述探針的軸向上分離。

2.根據權利要求1所述的探測裝置，其特征在于，

上述多個第一通孔中的相鄰的第一通孔彼此間的在相對于上述軸向垂直的方向上的間隔、且是上述第一柱塞筒保持部的位置上的間隔為0.05mm以下。

3.根據權利要求1或2所述的探測裝置，其特征在于，

上述多個第一通孔中的相鄰的第一通孔彼此間的在相對于上述軸向垂直的方向上的間隔、且是上述第一柱塞保持部的位置上的間隔為0.05mm以下。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的壁面與上述柱塞筒之間的間隙小于上述第一柱塞保持部的壁面與上述第一柱塞之間的間隙。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的探測裝置，其特征在于，

上述探針中的每個探針還包括第二柱塞，上述第二柱塞設置在上述柱塞筒的上述另一端部，

上述第二通孔中每個上述第二通孔還包括第二柱塞保持部，上述第二柱塞保持部與上述第二柱塞筒保持部連通，并且在上述第二支架的與上述第一支架相反側的表面開口，并被上述第二柱塞插入。

6.根據權利要求5所述的探測裝置，其特征在于，

上述第二柱塞筒保持部的壁面與上述柱塞筒之間的間隙小于上述第二柱塞保持部的壁面與上述第二柱塞之間的間隙。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的探測裝置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的在上述軸向上的長度以及上述第二柱塞筒保持部的在上述軸向上的長度分別小于上述柱塞筒的在上述軸向上的長度的1/2。

8.根據權利要求7所述的探測裝置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的在上述軸向上的長度與上述第二柱塞筒保持部的在上述軸向上的長度相等。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的探測裝置，其特征在于，

在上述第一支架中上述第一柱塞筒保持部開口的上述表面與上述第二支架中上述第二柱塞筒保持部開口的上述表面之間，形成有空洞。

10.根據權利要求9所述的探測裝置，其特征在于，

上述空洞的在上述軸向上的長度為0.2mm以上。

11.根據權利要求1～10中任一項所述的探測裝置，其特征在于，

上述第一支架還包括凸部，上述凸部設置于該第一支架中的上述第二支架側的端部，且向上述第二支架側突出，

上述第二支架還包括凹部，上述凹部在上述軸向上具有比上述凸部的長度長的長度，上述凹部與上述凸部通過彼此側面嵌合，

上述第一柱塞筒保持部在上述凸部的頂面開口，

上述第二柱塞筒保持部在上述凹部的底面開口。