[實用新型]一種從廢稀釋劑中回收丙二醇甲醚的系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220109793.0
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN216584817U
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 薛國彬;李張成;郭維林;周漪雯
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇電科環(huán)保有限公司
• 主分類號: C07C27/02
• 分類號: C07C27/02;C07C27/30;C07C27/26;C07C41/34;C07C41/42;C07C43/13;C07C51/42;C07C51/43;C07C53/10
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云;李衛(wèi)萍

本實用新型提供了一種從廢稀釋劑中回收丙二醇甲醚的系統(tǒng)，其可提高回收利用效果、安全性高，其包括反應(yīng)釜，粗蒸釜與反應(yīng)釜的入口相連，反應(yīng)釜的出口連接蒸發(fā)釜，反應(yīng)釜還連接有堿液罐，蒸發(fā)釜的第一出口連接共沸精餾塔、第二出口連接冷卻結(jié)晶器，共沸精餾塔的出料口連接冷凝器，冷凝器分別連接分水罐、成品罐，分水罐的第一出口連接共沸精餾塔的進口、第二出口連接廢水收集槽，冷卻結(jié)晶器依次連接離心機、干燥器。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及工業(yè)廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體工業(yè)廢水的處理技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種從廢稀釋劑中回收丙二醇甲醚的系統(tǒng)。

背景技術(shù)

丙二醇甲醚（PM）是一種二元醇醚類溶劑，屬于低毒醚類，因其既有醚鍵又有羥基而具有良好的溶解性能，而丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）分子結(jié)構(gòu)中既有醚鍵，又有羰基，羰基又形成了酯的結(jié)構(gòu)，在同一分子中既有非極性部分，又有極性部分，兩部分的官能團既相互制約排斥，又各自起到其固有的作用，故而對極性和非極性的物質(zhì)均有很強的溶解能力，因此常常將PM和PMA以一定配比互溶，在例如半導(dǎo)體、陽極感光材料、液晶顯示屏和光刻膠等的生產(chǎn)中作為光阻稀釋劑、光阻去除劑、去光阻緩沖液、剝離劑和清洗劑使用。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)生的廢液隨之增多，而由于PM雖然有微弱的醚味，但沒有強刺激性的氣味，使其用途更廣泛、安全，PMA則是性能優(yōu)良的低毒高級工業(yè)溶劑，因此如何從半導(dǎo)體光阻稀釋劑廢液中回收其中的丙二醇甲醚（PM）或者丙二醇甲醚醋酸酯（PMA），降低排放危害、實現(xiàn)資源化利用是目前亟需解決的問題以及迫切的需要。

目前半導(dǎo)體光阻稀釋劑廢液的處理主要是在濃硫酸催化條件下采用酯化反應(yīng)從中回收丙二醇甲醚醋酸酯（PMA），然而該工藝系統(tǒng)中，酯化反應(yīng)為可逆反應(yīng)，影響了回收利用效果，而且由于添加的催化劑為濃硫酸，具有強腐蝕性，導(dǎo)致實際生產(chǎn)中存在一定的安全隱患。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有半導(dǎo)體廢稀釋劑處理回收利用效果差、安全性差的缺點，本實用新型提供了一種從廢稀釋劑中回收丙二醇甲醚的系統(tǒng)，其可提高回收利用效果、安全性高。

本實用新型采用如下技術(shù)方案：其包括反應(yīng)釜，其特征在于，粗蒸釜與所述反應(yīng)釜的入口相連，所述反應(yīng)釜的出口連接蒸發(fā)釜，所述反應(yīng)釜還連接有堿液罐，所述蒸發(fā)釜的第一出口連接共沸精餾塔、第二出口連接冷卻結(jié)晶器，所述共沸精餾塔的出料口連接冷凝器，所述冷凝器分別連接分水罐、成品罐，所述分水罐的第一出口連接所述共沸精餾塔的進口、第二出口連接廢水收集槽，所述冷卻結(jié)晶器依次連接離心機、干燥器。

其進一步特征在于：

所述冷凝器通過三通閥與所述分水罐、所述成品罐連接；

所述離心機與所述反應(yīng)釜連通；

所述離心機為抽濾式離心機；

所述反應(yīng)釜設(shè)有攪拌槳；

所述堿液罐盛放稀堿液；

所述稀堿液為稀氫氧化鈉溶液；

所述干燥器連接成品包裝機。

本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)后，通過粗蒸釜的粗蒸餾可去除廢稀釋劑中不溶性固體顆粒雜質(zhì)，進入反應(yīng)釜后，在堿性條件下，丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）發(fā)生水解反應(yīng)轉(zhuǎn)化為丙二醇甲醚（PM），同時PMA與堿液反應(yīng)生成醋酸鹽，然后通過蒸發(fā)釜的蒸發(fā)濃縮、共沸精餾塔的共沸精餾提純獲得丙二醇甲醚（PM），通過蒸發(fā)釜的蒸發(fā)濃縮、冷卻結(jié)晶、離心、干燥可實現(xiàn)快速、高效地提純獲得副產(chǎn)物醋酸鹽、例如醋酸鈉晶體。