[實用新型]晶圓鍵合紅外檢測機構

有效

• 申請號: 202220102571.6
• 申請日: 2022-01-14
• 公開（公告）號: CN217035588U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 李帥龍;白龍;王偉
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京頭頭知識產權代理有限公司 11729
• 代理人: 白芳仿;王方明

1.一種晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，包括工業相機組件(1)、相機轉接裝置(5)、光源組件(7)、晶圓承載組件(8)，所述工業相機組件(1)帶有近紅外鏡頭(2)，所述晶圓承載組件(8)用于放置待檢測的晶圓，所述光源組件(7)設置于所述待檢測的晶圓一側，所述工業相機組件(1)連接于所述相機轉接裝置(5)上，所述相機轉接裝置(5)適于帶動所述工業相機組件(1)移動至所述待檢測的晶圓的另一側并使所述工業相機組件(1)的所述近紅外鏡頭(2)與所述待檢測晶圓同心。

2.根據權利要求1所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述光源組件(7)包括LED光源本體及光源控制器，所述LED光源本體與所述光源控制器相連接。

3.根據權利要求2所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述LED光源本體為1050nm的紅外LED燈。

4.根據權利要求3所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述晶圓承載組件(8)包括多個支撐塊，各支撐塊間隔設置，所述待檢測晶圓放置于所述支撐塊上，所述LED光源本體位于所述待檢測晶圓下方，所述工業相機組件(1)位于所述晶圓承載組件(8)上方。

5.根據權利要求4所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述工業相機組件(1)還包括濾波片，所述濾波片通過濾波片固定環(3)安裝于所述近紅外鏡頭(2)上。

6.根據權利要求5所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述濾波片為1050nm帶寬的濾波片。

7.根據權利要求6所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，還包括密封板(6)，所述密封板(6)上開設有通孔，所述通孔的直徑略小于所述待檢測晶圓的直徑，所述LED光源本體設置于所述密封板(6)下方，所述LED光源本體與所述密封板(6)相互貼合，所述LED光源本體發出的光能夠透過所述通孔投射于所述待檢測晶圓上。

8.根據權利要求7所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，還包括傳感器(9)，所述傳感器(9)用于檢測所述待檢測晶圓是否放置于所述晶圓承載組件(8)上。

9.根據權利要求8所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，所述相機轉接裝置(5)包括轉接桿(16)、鉸接頭(11)、支座(10)，所述工業相機組件(1)連接于所述轉接桿(16)的一端，所述轉接桿(16)另一端連接于所述鉸接頭(11)上，所述鉸接頭(11)可轉動連接于所述支座(10)上。

10.根據權利要求9所述的晶圓鍵合紅外檢測機構，其特征在于，還包括相機連接板(14)、相機連接板固定螺絲(13)、相機連接板(14)、鎖緊柱(15)、鎖緊柱固定螺栓(17)，所述工業相機組件(1)通過多個螺釘與所述相機連接板(14)相連接，所述轉接桿(16)上設置有第一連接通孔、第三連接通孔，所述第一連接通孔與所述第三連接通孔相互垂直并且相互連通，所述相機連接板(14)上設置有第二連接通孔，所述鎖緊柱(15)一端為第一端、另一端為第二端，所述第一端穿過所述第一連接通孔、所述第二端穿過所述第二連接通孔，所述相機連接板固定螺絲(13)螺紋連接于所述鎖緊柱(15)的所述第二端，所述鎖緊柱固定螺栓(17)螺紋連接于所述第三連接通孔內，所述鎖緊柱固定螺栓(17)末端抵靠在所述鎖緊柱(15)外壁上將所述相機連接板(14)與所述轉接桿(16)相連接。