[實用新型]一種改善絨面均勻性的補液系統有效
| 申請號: | 202220099511.3 | 申請日: | 2022-01-15 |
| 公開(公告)號: | CN216896812U | 公開(公告)日: | 2022-07-05 |
| 發明(設計)人: | 孫小龍;程建新;何喬喬;魏小席 | 申請(專利權)人: | 泗陽騰暉新能源技術有限公司 |
| 主分類號: | F17D1/08 | 分類號: | F17D1/08;F17D3/01;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人: | 卜娟 |
| 地址: | 223700 江蘇省宿*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 改善 均勻 補液 系統 | ||
本實用新型屬于硅電池制絨技術領域,尤其為一種改善絨面均勻性的補液系統,包括外槽和內槽,所述內槽位于外槽內,所述外槽一側設有兩個補液罐和循環泵,所述循環泵上連接有導管一和導管二,所述導管二和外槽相連通,所述內槽內設有兩個循環管,兩個循環管均和導管一串聯在一起,所述導管一上連接有補液管,所述補液管和內槽相連通,所述補液管和兩個補液罐并聯在一起。本實用新型能夠加速藥液混合,減小外槽和內槽內藥水之間的反射率差異,確保藥水各部分的均勻,能夠改善絨面均勻性。
技術領域
本實用新型涉及硅電池制絨技術領域,尤其涉及一種改善絨面均勻性的補液系統。
背景技術
制絨在整個硅電池制備領域中極其重要,制絨工序將硅片表面進行絨面的制絨和清洗,制絨過程中藥液濃度對絨面生長有較大影響,藥液混合混合速度的直接影響絨面及反射率均勻性,目前制絨槽體由于補液管路固定在槽內側壁,每批次補液直接補加在槽內壁位置,短時間內不能均勻混合在槽內,導致槽內由外向內反射率逐步遞減,最外與最內差異在0.5%左右,整體片間絨面形貌差異較大,為此,提出一種改善絨面均勻性的補液系統。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種改善絨面均勻性的補液系統。
為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:一種改善絨面均勻性的補液系統,包括外槽和內槽,所述內槽位于外槽內,所述外槽一側設有兩個補液罐和循環泵,所述循環泵上連接有導管一和導管二,所述導管二和外槽相連通,所述內槽內設有兩個循環管,兩個循環管均和導管一串聯在一起,所述導管一上連接有補液管,所述補液管和內槽相連通,所述補液管和兩個補液罐并聯在一起。
優選的,所述補液罐和補液管之間連接有同一個連接管,所述連接管上安裝有閥門一。
優選的,所述補液管上安裝有閥門二,所述閥門二位于導管一和連接管之間。
優選的,兩個循環管之間連接有同一個連通管,所述導管一和連通管連接在一起。
優選的,所述循環管和連通管均為U形設置。
優選的,所述閥門一和閥門二均為氣動隔膜閥。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:在補充藥液的時候,關閉閥門二并開啟兩個閥門一,兩個補液罐內的藥液將通過各自的連接管流進補液管內,之后藥液再通過補液管進入到內槽內,藥液補充完畢之后關閉兩個閥門一并開啟閥門二,并短暫的運行循環泵,外槽和內槽內的藥液將通過導管二、導管一和補液管進行循環,同時外槽和內槽內的藥液將通過導管二、導管一、連通管和兩個循環管進行循環,之后外槽和內槽內的藥液濃度將趨于一致。
本實用新型能夠加速藥液混合,減小外槽和內槽內藥水之間的反射率差異,確保藥水各部分的均勻,能夠改善絨面均勻性。
附圖說明
圖1為本實用新型的整體結構示意圖;
圖2為本實用新型的俯視結構示意圖;
圖3為本實用新型的部分結構示意圖。
圖中:1、外槽;2、內槽;3、補液罐;4、補液管;5、循環泵;6、導管一;7、導管二;8、循環管;9、連接管;10、閥門一;11、閥門二;12、連通管。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
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