[實用新型]一種存儲柜的定位塊

有效

• 申請號: 202220097850.8
• 申請日: 2022-01-14
• 公開（公告）號: CN216494315U
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 徐彬;張葉;范敏軍
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: A47B81/00
• 分類號: A47B81/00;A47B97/00;H01L21/673
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 馮啟正

1.一種存儲柜的定位塊，其特征在于，包括第一定位面、第二定位面和第三定位面；所述第一定位面和所述第二定位面相交，所述第一定位面和所述第三定位面相交，所述第二定位面和所述第三定位面相交，所述第三定位面位于所述第一定位面的底部和所述第二定位面的底部；所述定位塊設置有用于固定的安裝孔；

所述存儲柜包括固定座、導軌、入口和內壁，所述固定座安裝在所述導軌上，所述固定座在所述導軌上可移動，所述導軌位于所述存儲柜的入口和所述存儲柜的內壁之間；所述固定座用于固定傳送盒；所述傳送盒包括第一拐角，所述第一拐角靠近所述存儲柜的內壁并且遠離所述存儲柜的入口；所述導軌的一端靠近所述存儲柜的入口，另一端遠離所述存儲柜的入口；所述第一拐角靠近所述導軌的一端，所述第一拐角與所述導軌的另一端的距離大于所述導軌的長度；所述定位塊固定在所述存儲柜的內壁上或者固定在所述內壁和所述導軌之間；所述第三定位面與所述固定座的上表面平行，所述第三定位面所在的高度等于或低于所述固定座的上表面所在的高度；當所述固定座位于所述存儲柜的入口位置時，所述傳送盒的第一拐角通過所述第一定位面和所述第二定位面的導向作用被放置在所述固定座的上表面上。

2.如權利要求1所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述第一拐角包括三個相互垂直的三個面；所述第一定位面和所述第二定位面垂直相交，所述第一定位面和所述第三定位面垂直相交，所述第二定位面和所述第三定位面垂直相交。

3.如權利要求2所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，當所述傳送盒放置在所述固定座的上表面時，所述第一拐角的頂點和所述第一側面之間的距離為a，所述第一拐角的頂點和所述第二側面的距離為b，所述a滿足0＜a≤2mm，所述b滿足0＜b≤2mm。

4.如權利要求3所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述第一定位面的上邊線與所述第二定位面的上邊線在同一平面上，所述第一定位面的下邊線所在的高度低于所述第三定位面的下邊線所在的高度。

5.如權利要求4所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述定位塊還包括安裝面，所述安裝面與所述第二定位面平行且與所述第三定位面垂直，所述安裝面位于所述第三定位面的底部，所述安裝孔垂直貫穿所述安裝面。

6.如權利要求5所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述安裝孔為通孔，所述安裝孔的個數為多個。

7.如權利要求5所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述安裝面與所述存儲柜的內壁之間的距離大于所述第二定位面與所述存儲柜的內壁之間的距離。

8.如權利要求1所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述傳送盒為前開式晶圓傳送盒。

9.如權利要求1所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述傳送盒為存放光罩的傳送盒。

10.如權利要求1所述的一種存儲柜的定位塊，其特征在于，所述固定座的上表面設置有多個定位柱，所述傳送盒的下表面設置有多個與所述定位柱相配合的定位孔。