[實用新型]一種六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻版

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220088381.3
• 申請日: 2022-01-13
• 公開（公告）號: CN216901318U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設計）人: 虞旭俊;金家斌;王俊;賀鴻浩;朱燕飛;毛建軍;任亮
• 申請（專利權）人: 杭州賽晶電子有限公司
• 主分類號: G03F1/26
• 分類號: G03F1/26
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 傅朝棟;張法高

1.一種六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，包括第一掩膜版和第二掩膜版，第一掩膜版包括第一透明基板(1)以及覆蓋于第一透明基板(1)表面的第一光刻掩膜層(2)，第二掩膜版包括第二透明基板(3)以及覆蓋于第二透明基板(3)表面的第二光刻掩膜層(4)；

所述第一光刻掩膜層(2)中具有由第一正六邊形圖案單元拼接成的第一蜂窩狀圖案，且每個第一正六邊形圖案單元中，六條側邊線處為不透光線條，六條側邊線圍合區(qū)域均為透光區(qū)域；任意兩個相鄰的第一正六邊形圖案單元之間保持間隔，使兩個第一正六邊形圖案單元貼近的兩條平行不透光線條之間具有一條透光線條；

所述第二光刻掩膜層(4)中具有由第二正六邊形圖案單元拼接成的第二蜂窩狀圖案，且每個第二正六邊形圖案單元中，六條側邊線處為透光線條，六條側邊線圍合區(qū)域均為不透光區(qū)域；任意兩個相鄰的第二正六邊形圖案單元之間保持間隔，使兩個第二正六邊形圖案單元貼近的兩條平行透光線條之間具有一條不透光線條；

所述第一蜂窩狀圖案中的第一正六邊形圖案單元能夠與所述第二蜂窩狀圖案中的第二正六邊形圖案單元一一對應重疊，以實現(xiàn)套刻。

2.如權利要求1所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一透明基板(1)和/或第二透明基板(3)的材質為蘇打玻璃、石英玻璃或硼硅玻璃。

3.如權利要求1所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一光刻掩膜層(2)和/或第二光刻掩膜層(4)為帶有鏤空圖案的鉻層，其中所有不透光區(qū)域具有連續(xù)的鉻層，而所有透光區(qū)域均鏤空。

4.如權利要求1所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述不透光線條和/或所述透光線條的線寬為4～5mil。

5.如權利要求1所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一光刻掩膜層(2)鍍于第一透明基板(1)的單側表面，第二光刻掩膜層(4)鍍于第二透明基板(3)的單側表面。

6.一種六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，包括第一掩膜版和第二掩膜版，第一掩膜版包括第一透明基板(1)以及覆蓋于第一透明基板(1)表面的第一光刻掩膜層(2)，第二掩膜版包括第二透明基板(3)以及覆蓋于第二透明基板(3)表面的第二光刻掩膜層(4)；

所述第一光刻掩膜層(2)中具有由第一正六邊形圖案單元拼接成的第一蜂窩狀圖案，且每個第一正六邊形圖案單元中，六條側邊線處為透光線條，六條側邊線圍合區(qū)域均為不透光區(qū)域；任意兩個相鄰的第一正六邊形圖案單元之間保持間隔，使兩個第一正六邊形圖案單元貼近的兩條平行透光線條之間具有一條不透光線條；

所述第二光刻掩膜層(4)中具有由第二正六邊形圖案單元拼接成的第二蜂窩狀圖案，且每個第二正六邊形圖案單元中，六條側邊線處為不透光線條，六條側邊線圍合區(qū)域均為透光區(qū)域；任意兩個相鄰的第二正六邊形圖案單元之間保持間隔，使兩個第二正六邊形圖案單元貼近的兩條平行不透光線條之間具有一條透光線條；

所述第一蜂窩狀圖案中的第一正六邊形圖案單元能夠與所述第二蜂窩狀圖案中的第二正六邊形圖案單元一一對應重疊，以實現(xiàn)套刻。

7.如權利要求6所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一透明基板(1)和/或第二透明基板(3)的材質為蘇打玻璃、石英玻璃或硼硅玻璃。

8.如權利要求6所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一光刻掩膜層(2)和/或第二光刻掩膜層(4)為帶有鏤空圖案的鉻層，其中所有不透光區(qū)域具有連續(xù)的鉻層，而所有透光區(qū)域均鏤空。

9.如權利要求6所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述不透光線條和/或所述透光線條的線寬為4～5mil。

10.如權利要求6所述的六邊形蜂窩狀雙溝槽光刻掩膜版，其特征在于，所述第一光刻掩膜層(2)鍍于第一透明基板(1)的單側表面，第二光刻掩膜層(4)鍍于第二透明基板(3)的單側表面。