[實用新型]兩軸位移裝置有效
| 申請號： | 202220082949.0 | 申請日： | 2022-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN217115901U | 公開（公告）日： | 2022-08-02 |
| 發明（設計）人： | 龔威;胡兵;彭仁強;江旭初 | 申請（專利權）人： | 上海隱冠半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | H02K41/02 | 分類號： | H02K41/02 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 何沖 |
| 地址： | 201206 上海市浦東新區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 位移 裝置 | ||
1.一種兩軸位移裝置，其特征在于，包括支撐臺(1)、平衡質量組件(2)和平面運動組件(3)；
所述平衡質量組件(2)包括第一質量塊(201)、第二質量塊(202)、第三質量塊(203)和第四質量塊(204)，所述第一質量塊(201)和所述第二質量塊(202)均可沿第一水平方向滑動地設置于所述支撐臺(1)上，且所述第一質量塊(201)和所述第二質量塊(202)在第二水平方向相對設置，所述第三質量塊(203)和所述第四質量塊(204)均可沿所述第二水平方向滑動地設置于所述支撐臺(1)上，且所述第三質量塊(203)和所述第四質量塊(204)在所述第一水平方向相對設置，所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向；
所述平面運動組件(3)包括運動臺(301)和驅動組件(302)，所述運動臺(301)分別滑動連接至所述第一質量塊(201)、所述第二質量塊(202)、所述第三質量塊(203)和所述第四質量塊(204)，所述驅動組件(302)的定子相對所述平衡質量組件固定，所述驅動組件(302)的動子相對所述運動臺(301)固定，以驅動所述運動臺(301)沿所述第一水平方向和/或所述第二水平方向運動。
2.根據權利要求1所述的兩軸位移裝置，其特征在于，所述平衡質量組件(2)還包括第一導向機構(211)、第二導向機構(212)、第三導向機構(213)和第四導向機構(214)；
所述第一導向機構(211)包括第一導軌和第一移動部，所述第一導軌連接至所述支撐臺(1)且沿所述第一水平方向延伸，所述第一移動部可滑動或滾動地和所述第一導軌配合，所述第一移動部和所述第一質量塊(201)連接；
所述第二導向機構(212)包括第二導軌和第二移動部，所述第二導軌連接至所述支撐臺(1)且沿所述第一水平方向延伸，所述第二移動部可滑動或滾動地和所述第二導軌配合，所述第二移動部和所述第二質量塊(202)連接；
所述第三導向機構(213)包括第三導軌和第三移動部，所述第三導軌連接至所述支撐臺(1)且沿所述第二水平方向延伸，所述第三移動部可滑動或滾動地和所述第三導軌配合，所述第三移動部和所述第三質量塊(203)連接；
所述第四導向機構(214)包括第四導軌和第四移動部，所述第四導軌連接至所述支撐臺(1)且沿所述第二水平方向延伸，所述第四移動部可滑動或滾動地和所述第四導軌配合，所述第四移動部和所述第四質量塊(204)連接。
3.根據權利要求1所述的兩軸位移裝置，其特征在于，還包括防漂組件，所述防漂組件設置在所述支撐臺(1)上，所述防漂組件包括：
第一防漂部，所述第一防漂部包括第一驅動電機(511)，所述第一驅動電機(511)的定子連接至所述支撐臺(1)，所述第一驅動電機(511)的動子連接至所述第一質量塊(201)的一端；
第二防漂部，所述第二防漂部包括第二驅動電機(512)，所述第二驅動電機(512)的定子連接至所述支撐臺(1)，所述第二驅動電機(512)的動子連接至所述第二質量塊(202)的一端；
第三防漂部，所述第三防漂部包括第三驅動電機(513)，所述第三驅動電機(513)的定子連接至所述支撐臺(1)，所述第三驅動電機(513)的動子連接至所述第三質量塊(203)的一端；
第四防漂部，所述第四防漂部包括第四驅動電機(514)，所述第四驅動電機(514)的定子連接至所述支撐臺(1)，所述第四驅動電機(514)的動子連接至所述第四質量塊(204)的一端。
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