[實用新型]一種真空吸附的溫度控制裝置

有效

• 申請號: 202220044682.6
• 申請日: 2022-01-10
• 公開（公告）號: CN216561557U
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 顧勇剛;王曉麗;張亮
• 申請（專利權）人: 武漢中旗光電科技有限公司
• 主分類號: G05D23/30
• 分類號: G05D23/30
• 代理公司: 廣州京諾知識產權代理有限公司 44407
• 代理人: 葉尉東

1.一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：包括TEC控溫平臺(1)、散熱裝置(2)和器件安裝平臺(3)，其中，

TEC控溫平臺(1)位于散熱裝置(2)與器件安裝平臺(3)之間，TEC控溫平臺(1)分別與散熱裝置(2)和安裝平臺(3)固定連接；

器件安裝平臺(3)包括導熱臺(31)和吸氣管(32)，導熱臺(31)接近散熱裝置(2)的端面與TEC控溫平臺(1)遠離散熱裝置(2)的固定連接，導熱臺(31)遠離TEC控溫平臺(1)的端面陣列設置有若干吸附孔(311)，吸氣管(32)固定設置于導熱臺(31)上，吸氣管(32)的一端穿過導熱臺(31)的側壁并與若干吸附孔(311)連通，吸氣管(32)的另一端與真空泵連通；

TEC控溫平臺(1)與導熱臺(31)進行熱交換。

2.如權利要求1所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：所述TEC控溫平臺(1)包括TEC控溫模塊(11)和第一安裝板(12)，TEC控溫模塊(11)位于散熱裝置(2)與第一安裝板(12)之間，TEC控溫模塊(11)遠離導熱臺(31)的端面與散熱裝置(2)接近導熱臺(31)的端面接觸，TEC控溫模塊(11)接近導熱臺(31)的端面與第一安裝板(12)遠離導熱臺(31)的端面接觸；第一安裝板(12)遠離散熱裝置(2)的端面與導熱臺(31)接近散熱裝置(2)的端面固定連接。

3.如權利要求2所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：所述TEC控溫平臺(1)還包括隔熱板(13)，隔熱板(13)位于散熱裝置(2)與第一安裝板(12)之間，隔熱板(13)遠離導熱臺(31)的端面與散熱裝置(2)接近導熱臺(31)的端面固定連接，隔熱板(13)接近導熱臺(31)的端面與第一安裝板(12)遠離導熱臺(31)的端面固定連接；隔熱板(13)的厚度與TEC控溫模塊(11)的厚度相適配，隔熱板(13)上設置有TEC安裝通孔(131)；TEC控溫模塊(11)位于TEC安裝通孔(131)中，且與TEC安裝通孔(131)的孔壁間隔設置。

4.如權利要求3所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：還包括底座(4)和控制器(5)，底座(4)位于散熱裝置(2)遠離TEC控溫模塊(11)的一端，并與散熱裝置(2)的端面固定連接；控制器(5)固定設置于底座(4)的側壁上，TEC控溫模塊(11)的控制線與控制器(5)的接線端電性連接。

5.如權利要求4所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：所述底座(4)上設置有接線槽(41)，所述散熱裝置(2)上設置有接線通孔(21)；接線槽(41)的槽口朝向散熱裝置(2)遠離TEC控溫模塊(11)的端面，并與接線通孔(21)連通，控制器(5)的接線端穿過底座(4)的側壁位于接線槽(41)內，接線通孔(21)與TEC安裝通孔(131)連通；TEC控溫模塊(11)的控制線穿過接線通孔(21)于接線槽(41)內與控制器(5)的接線端電性連接。

6.如權利要求5所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：所述散熱裝置(2)包括水冷箱(22)，水冷箱(22)接近導熱臺(31)的端面與TEC控溫模塊(11)遠離導熱臺(31)的端面接觸，水冷箱(22)遠離導熱臺(31)的端面與底座(4)固定連接；接線通孔(21)位于水冷箱(22)上，并貫穿水冷箱(22)側壁豎直延伸方向的兩端，接線通孔(21)與水冷箱(22)內部間隔設置。

7.如權利要求6所述的一種真空吸附的溫度控制裝置，其特征在于：所述散熱裝置(2)還包括進水管(23)和出水管(24)，進水管(23)和出水管(24)均固定設置于水冷箱(22)豎直延伸方向的側壁上，并分別與水冷箱(22)的內部連通；進水管(23)向水冷箱(22)內輸入水，出水管(24)將水冷箱(22)內的水排出。