[實用新型]一種石墨環吸附式夾具有效
| 申請號: | 202220024010.9 | 申請日: | 2022-01-05 |
| 公開(公告)號: | CN217194847U | 公開(公告)日: | 2022-08-16 |
| 發明(設計)人: | 張斌 | 申請(專利權)人: | 摩根新材料(上海)有限公司 |
| 主分類號: | B25B11/00 | 分類號: | B25B11/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201100 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 吸附 夾具 | ||
1.一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:包括夾具本體(1),所述夾具本體(1)頂面設置有第一吸附部(2),所述第一吸附部(2)上開設有多個第一吸附孔(3),多個所述第一吸附孔(3)沿所述夾具本體(1)頂面周向陣列分布,所述夾具本體(1)底部開設有抽氣孔(4),所述第一吸附孔(3)與所述抽氣孔(4)連通。
2.根據權利要求1所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述夾具本體(1)頂部設置有用于卡接石墨環的卡接臺階(5),所述卡接臺階(5)位于所述第一吸附部(2)內側。
3.根據權利要求2所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述卡接臺階(5)高度為石墨環高度的1/6~1/4。
4.根據權利要求1所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述夾具本體(1)頂面還包括第二吸附部(6),所述第二吸附部(6)上開設有多個第二吸附孔(7),多個所述第二吸附孔(7)沿所述夾具本體(1)頂面周向陣列分布,所述第二吸附孔(7)與所述抽氣孔(4)連通。
5.根據權利要求4所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述第二吸附孔(7)設置有多排,多排所述第二吸附孔(7)以夾具本體(1)中軸線為中心同軸設置。
6.根據權利要求4所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述夾具本體(1)內頂部開設有與第一吸附孔(3)和第二吸附孔(7)連通的第一氣腔(8),所述夾具本體(1)內底部開設有與第一氣腔(8)連通的第二氣腔(9),所述第二氣腔(9)與所述抽氣孔(4)連通。
7.根據權利要求4所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述夾具本體(1)頂面位于所述第一吸附部(2)頂部設置有第一密封件(10),所述夾具本體(1)頂面位于所述第二吸附部(6)頂部設置有第二密封件(11)。
8.根據權利要求7所述的一種石墨環吸附式夾具,其特征在于:所述第一密封件(10)底部設置有多個第一凸起(12),所述第一凸起(12)與所述第一吸附孔(3)相適配,所述第二密封件(11)底部設置有多個第二凸起(13),所述第二凸起(13)與所述第二吸附孔(7)相適配。
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