[實(shí)用新型]芯片加工用的上膠設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202220013082.3 | 申請日: | 2022-01-05 |
| 公開(公告)號: | CN216936808U | 公開(公告)日: | 2022-07-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳遠(yuǎn)華;居長朝;徐燁鈞 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州泰晶微半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號: | B05C5/02 | 分類號: | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司: | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215163 江蘇省蘇州市高新*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 工用 設(shè)備 | ||
本實(shí)用新型公開一種芯片加工用的上膠設(shè)備,包括:第一框架、第二框架、吸膠筒和出膠筒,第一框架、第二框架的下端與一支撐板連接,第一框架包括豎直部和延伸至待加工芯片上方的水平部,水平部的上方安裝有一第二步進(jìn)電機(jī),該第二步進(jìn)電機(jī)的輸出軸上并位于水平部的下方安裝有一可轉(zhuǎn)動的電動伸縮桿,豎直部的外壁上安裝有一通過連通管與膠箱連通的吸泵,一隨動框的一端套裝于電動伸縮桿的活塞筒上,隨動框的另一端上安裝有與吸泵連通的吸膠筒,第二框架的上端與待加工芯片相向的一側(cè)安裝有出膠筒,第二框架的中端安裝有一計(jì)量泵,計(jì)量泵的輸出端通過出料管與出膠筒連接,計(jì)量泵的輸入端通過管道連接到一膠箱上。本實(shí)用新型提高了對芯片加工的可靠性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種芯片加工用的上膠設(shè)備。
背景技術(shù)
芯片,又稱微電路、微芯片、集成電路,是指內(nèi)含集成電路的硅片,體積很小,常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分。半導(dǎo)體芯片:在半導(dǎo)體片材上進(jìn)行侵蝕、布線,制成的能實(shí)現(xiàn)某種功能的半導(dǎo)體器件。一種芯片加工用的上膠設(shè)備,在上芯環(huán)節(jié),需要進(jìn)行粘膠、粘芯、上芯等多環(huán)節(jié)連續(xù)操作的情況,這些操作都是分立處理,效率并不理想,且無法與下一個工序銜接。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種芯片加工用的上膠設(shè)備,該芯片加工用的上膠設(shè)備可以在保護(hù)芯片不受損傷的同時(shí)提高對芯片的粘接強(qiáng)度,提高了對芯片加工的可靠性。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種芯片加工用的上膠設(shè)備,包括:第一框架、第二框架、吸膠筒和出膠筒,所述第一框架、第二框架的下端與一支撐板連接,所述第一框架包括豎直部和延伸至待加工芯片上方的水平部,所述水平部的上方安裝有一第二步進(jìn)電機(jī),該第二步進(jìn)電機(jī)的輸出軸上并位于水平部的下方安裝有一可轉(zhuǎn)動的電動伸縮桿,所述豎直部的外壁上安裝有一通過連通管與膠箱連通的吸泵,一隨動框的一端套裝于電動伸縮桿的活塞筒上,所述隨動框的另一端上安裝有與吸泵連通的所述吸膠筒;
所述第二框架的上端與待加工芯片相向的一側(cè)安裝有出膠筒,所述第二框架的中端安裝有一計(jì)量泵,所述計(jì)量泵的輸出端通過出料管與出膠筒連接,所述計(jì)量泵的輸入端通過管道連接到一膠箱上。
上述技術(shù)方案中進(jìn)一步改進(jìn)的方案如下:
1. 上述方案中,所述電動伸縮桿的伸縮端上固定有一伸縮筒,所述伸縮筒的伸縮端固定有一壓緊板。
2. 上述方案中,所述壓緊板與電動伸縮桿的伸縮端之間設(shè)置有一套裝于伸縮筒上的壓縮彈簧,所述伸縮筒的伸縮端底部具有一沿徑向向外凸起并位于壓縮彈簧內(nèi)的限位環(huán)。
3. 上述方案中,所述膠箱位于計(jì)量泵下方。
由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
本實(shí)用新型芯片加工用的上膠設(shè)備,其第二框架安裝有出膠筒,第一框架愛安裝有吸膠筒,第一框架包括豎直部和延伸至待加工芯片上方的水平部,所述水平部的上方安裝有一第二步進(jìn)電機(jī),該第二步進(jìn)電機(jī)的輸出軸上并位于水平部的下方安裝有一可轉(zhuǎn)動的電動伸縮桿,豎直部的外壁上安裝有一通過連通管與膠箱連通的吸泵,可以在保護(hù)芯片不受損傷的同時(shí)提高對芯片的粘接強(qiáng)度,并將多余的膠水吸出循環(huán)使用,提高了對芯片加工的可靠性。
附圖說明
附圖1為本實(shí)用新型的芯片加工用的上膠設(shè)備整體結(jié)構(gòu)示意圖;
附圖2為本實(shí)用新型的芯片加工用的上膠設(shè)備局部結(jié)構(gòu)示意圖。
以上附圖中:1、第一框架;101、豎直部;102、水平部;2、第二框架;3、吸膠筒;4、出膠筒;5、支撐板;6、第二步進(jìn)電機(jī);7、第二電動伸縮桿;8、連通管;9、膠箱;10、吸泵;11、隨動框;12、計(jì)量泵;13、伸縮筒;14、壓緊彈簧;15、限位環(huán);16、壓緊板。
具體實(shí)施方式
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