[實用新型]一種用于石英棒開槽的加工裝置

有效

• 申請號: 202220004105.4
• 申請日: 2022-01-04
• 公開（公告）號: CN217346134U
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 姚祿輝;藍呈
• 申請（專利權）人: 上海強華實業股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京潤捷智誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11831
• 代理人: 安利霞

本實用新型公開了一種用于石英棒開槽的加工裝置，包括特制卡臺，所述特制卡臺的上表面開設有若干個分布均勻的卡槽，所述特制卡臺的上表面開設有若干個位置與卡槽相對應的導向槽，所述特制卡臺上表面的兩端均設置有可滑動的夾板，所述夾板的下表面固定連接有若干個一端卡接于導向槽的滑塊，所述夾板的上表面固定連接有限位板，兩個夾板的相對面均固定連接有若干個橡膠吸盤；該加工裝置便于放置多個石英棒并且使其位置相對應，與現有技術相比，該加工裝置便于安裝到開槽機平臺上，可以同時對多個石英棒進行快速穩定地固定，方便操作的同時，又便于將多個石英棒統一加工，減少加工誤差以提高加工的尺寸精度。

技術領域

本實用新型屬于石英棒加工技術領域，特別是涉及一種用于石英棒開槽的加工裝置。

背景技術

在集成電路擴散工藝制程中，需要由石英舟作為晶圓(硅片)的載體，而槽棒是組成石英舟的重要部分。因而對石英槽棒槽齒的平面度、垂直度、平行度、單個間距尺寸、總的間距尺寸都有相應的要求。

現有的加工平臺結構簡單，通常只能對單根槽棒進行固定，以單獨開槽加工，導致其加工效率有所不足，而石英舟由三根或以上數量槽棒組成的，現有的加工平臺不便于對其統一加工，存在加工誤差、步驟繁瑣、尺寸精度難以保證的缺陷，為此我們提出了一種用于石英棒開槽的加工裝置解決上述問題。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種用于石英棒開槽的加工裝置，避免了現有的加工平臺不便于對若干數量槽棒組成的石英舟進行統一加工，存在加工誤差、步驟繁瑣、尺寸精度難以保證的缺陷的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供如下技術方案：一種用于石英棒開槽的加工裝置，包括特制卡臺，所述特制卡臺的上表面開設有若干個分布均勻的卡槽，所述特制卡臺的上表面開設有若干個位置與卡槽相對應的導向槽，所述特制卡臺上表面的兩端均設置有可滑動的夾板，所述夾板的下表面固定連接有若干個一端卡接于導向槽的滑塊，所述夾板的上表面固定連接有限位板，兩個夾板的相對面均固定連接有若干個橡膠吸盤。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述特制卡臺的上表面為“凹”字形結構，所述夾板的底端形狀結構與特制卡臺的上表面形狀結構相吻合。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述導向槽的橫截面與滑塊的橫截面均為梯形結構。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述限位板的橫截面為“L”字形結構，所述限位板的下表面設置有墊板，所述墊板與限位板內壁的上表面之間固定連接有若干個支撐彈簧。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述墊板的下表面設置有表面開設防滑紋的防滑層，且防滑層為橡膠材質。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述特制卡臺的正面與背面均通過銷軸鉸接有兩個擋板，所述擋板的一端通過緊固螺絲與特制卡臺相連接。

與現有技術相比，本實用新型能達到的有益效果是：

1、該裝置通過在特制卡臺的上表面設置向中部傾斜的特定結構，并且在卡槽的配合作用下，便于放置多個石英棒并且使其位置相對應，而通過滑塊與導向槽的連接配合，使得特制卡臺兩端的夾板能夠移動，并且利用橡膠吸盤與石英棒相吸附，同時，夾板上表面的限位板移動到石英棒的上方，通過支撐彈簧對墊板擠壓作用，能夠利用墊板對石英棒進行擠壓限位，以達到對石英棒的多級限位，便于利用刀具同時對多個石英棒開槽加工，與現有技術相比，該加工裝置便于安裝到開槽機平臺上，可以同時對多個石英棒進行快速穩定地固定，方便操作的同時，又便于將多個石英棒統一加工，減少加工誤差以提高加工的尺寸精度。

2、該裝置通過在特制卡臺的兩端設置擋板，可以防止夾板從特制卡臺上脫離下來，且擋板的一端通過銷軸與特制卡臺相連接，在擰開緊固螺絲后，可以對擋板解除鎖定，便于操作擋板向下旋轉以快速解除對夾板的阻擋，讓夾板可以從特制卡臺上拆卸下來，方便對其進行更換，使得該加工裝置便于維護或者組裝。

附圖說明