[實用新型]一種晶圓生產用預對準頂升機構有效

申請號：	202220003723.7	申請日：	2022-01-04
公開（公告）號：	CN216719919U	公開（公告）日：	2022-06-10
發明（設計）人：	高俊;陸敏杰	申請（專利權）人：	無錫星微科技有限公司
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687
代理公司：	無錫智麥知識產權代理事務所(普通合伙) 32492	代理人：	宋春榮
地址：	214000 江蘇省無錫市新吳區***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種生產對準機構
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【權利要求書】：

1.一種晶圓生產用預對準頂升機構，其特征在于：包括電機、滾珠絲杠、下移動塊、上移動塊、第一導軌、第一滑塊、第二導軌、第二滑塊、第三導軌、第三滑塊，電機的輸出軸與滾珠絲杠的螺桿連接，滾珠絲杠的螺母與下移動塊固定連接，滾珠絲杠水平設置，第一導軌水平設置在滾珠絲杠的一側，第一滑塊滑動設置在第一導軌上，下移動塊的下部與第一滑塊固定連接，下移動塊的上部與第二滑塊固定連接，第二滑塊滑動設置在第二導軌上，所述第二導軌與上移動塊的下部固定連接，所述第二導軌由左到右傾斜向下設置，所述第三滑塊滑動設置在第三導軌上，第三滑塊設置在上移動塊的右側，第三導軌豎直設置，所述上移動塊的縱向橫截面呈直角三角形，所述下移動塊的縱向橫截面呈直角三角形。

2.如權利要求1所述的一種晶圓生產用預對準頂升機構，其特征在于：所述第一導軌固定安裝在底座上。

3.如權利要求1所述的一種晶圓生產用預對準頂升機構，其特征在于：所述第三導軌固定安裝在立架上。

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