[發明專利]一種大面積消色差超構透鏡的制備方法

在審

• 申請號: 202211739484.2
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN115951433A
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 胡躍強;姜玉婷;李苓;段輝高;賈紅輝
• 申請（專利權）人: 湖南大學;湖南大學深圳研究院;湖大粵港澳大灣區創新研究院（廣州增城）
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00;G02B27/00;G02B17/08;G03F7/20;G03F7/16;G03F7/42
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 王兆波

1.一種大面積消色差超構透鏡的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、旋涂抗蝕劑，即在選擇好的介質襯底上進行抗蝕劑的旋涂，并進行抗蝕劑的烘烤以確保溶液全部排出，僅留下溶質；所述抗蝕劑為正型抗蝕劑包括聚甲基丙烯酸甲酯和ZEP；

S2、利用光刻技術進行版圖的精準曝光，光刻技術包括電子束曝光技術，紫外或者極紫外曝光技術和納米壓印技術；

S3、利用原子層沉積系統對曝光的位置的結構進行填充，沉積的厚度為最大結構尺寸的一半，在確保曝光位置全部填充的情況下，使生成的結構具有陡直性；

S4、刻蝕，即對包覆在抗蝕劑以上的部分進行刻蝕；

S5、去膠，即采用反應離子刻蝕的方法對樣片上剩余的抗蝕劑進行去除。

2.根據權利要求1所述的一種大面積消色差超構透鏡的制備方法，其特征在于，步驟S1為首先在具有ITO薄膜層的透明玻璃基板上以2000rpm的轉速旋涂1000nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯電子束抗蝕劑層，并在180℃的熱板上烘烤4分鐘。

3.根據權利要求2所述的一種大面積消色差超構透鏡的制備方法，其特征在于，步驟S2為通過電子束光刻以100KV的電壓和200pA的束流對樣品進行曝光，將樣品在甲基異丁基酮和異丙醇的混合溶液中顯影1分鐘，并在IPA中固定1分鐘。

4.根據權利要求3所述的一種大面積消色差超構透鏡的制備方法，其特征在于，甲基異丁基酮和異丙醇的比例為1:3。

5.根據權利要求1所述的一種大面積消色差超構透鏡的制備方法，其特征在于，步驟S3為使用原子層沉積系統用230nmTiO2填充暴露區域，一層230nm?TiO2將保留在整個樣品的頂部。