[發(fā)明專利]超聲噴頭組件、用于多線切割的超聲輔助排屑裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211726804.0
• 申請(qǐng)日: 2022-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115922935A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉增偉;張帥;李瑞評(píng);曾柏翔;張佳浩;劉聰毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建晶安光電有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/02
• 分類號(hào): B28D7/02;B28D7/00;B28D5/04;B05B17/06
• 代理公司: 北京金咨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11612
• 代理人: 王曉雅

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N超聲噴頭組件、用于多線切割的超聲輔助排屑裝置及方法，組件采用內(nèi)腔容納有目標(biāo)流體的主流體管、與該主流體管的內(nèi)腔連通的噴頭以及用于對(duì)目標(biāo)流體進(jìn)行超聲震蕩的超聲發(fā)生器，其中，目標(biāo)流體包括：液體和/或氣體；主流體管設(shè)置在多線切割機(jī)中的槽輪與固定臺(tái)之間，且噴頭的流體噴口與多線切割機(jī)中的纏繞于槽輪的切割線相對(duì)設(shè)置，以將處于超聲震蕩狀態(tài)的目標(biāo)流體自流體噴口噴射至切割線上。本申請(qǐng)能夠有效提升多線切割機(jī)的排屑能力，并能夠有效優(yōu)化多線切割機(jī)中切割線的切削能力以及改善線切割的翹曲度，進(jìn)而能夠提高多線切割機(jī)的應(yīng)用有效性及可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及襯底加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及超聲噴頭組件、用于多線切割的超聲輔助排屑裝置及方法。

背景技術(shù)

多線切割是一種通過(guò)如金屬絲等切割線的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將半導(dǎo)體等物體一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。目前，高精度數(shù)控多線高速切割機(jī)床可全面實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的高精度、高速度及低損耗切割。

然而，在目前的多線切割機(jī)在對(duì)待切割物進(jìn)行多線切割的過(guò)程中，切割部位的切屑會(huì)產(chǎn)生堆積，使得排屑能力降低，切割線組成的線網(wǎng)方向和進(jìn)給方向的翹曲度(Warp)劣化。

因此，目前亟需設(shè)計(jì)一種能夠在多線切割機(jī)的作業(yè)過(guò)程中，輔助多線切割機(jī)排屑的裝置。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于此，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了超聲噴頭組件、用于多線切割的超聲輔助排屑裝置及方法，以消除或改善現(xiàn)有技術(shù)中存在的一個(gè)或更多個(gè)缺陷。

本申請(qǐng)的一個(gè)方面提供了一種超聲噴頭組件，包括：內(nèi)腔容納有目標(biāo)流體的主流體管、與該主流體管的內(nèi)腔連通的噴頭以及用于對(duì)所述目標(biāo)流體進(jìn)行超聲震蕩的超聲發(fā)生器，其中，所述目標(biāo)流體包括：液體和/或氣體；

所述主流體管設(shè)置在多線切割機(jī)中的槽輪與固定臺(tái)之間，且所述噴頭的流體噴口與所述多線切割機(jī)中的纏繞于所述槽輪的切割線相對(duì)設(shè)置，以將處于超聲震蕩狀態(tài)的所述目標(biāo)流體自所述流體噴口噴射至所述切割線上。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述主流體管有多個(gè)；

各個(gè)所述主流體管的間距基于所述多線切割機(jī)中的各個(gè)槽輪的溝槽間距設(shè)置。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述主流體管上設(shè)有多個(gè)噴頭；

每個(gè)所述主流體管上的所述噴頭的數(shù)量均等于或大于所述切割線的數(shù)量，以使每條所述切割線均與每個(gè)所述主流體管上的至少一個(gè)所述噴頭的流體噴口之間以預(yù)設(shè)角度相對(duì)設(shè)置；

所述主流體管上的各個(gè)所述噴頭與該主流體管之間活動(dòng)連接。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述主流體管上設(shè)有一個(gè)所述噴頭，且該噴頭的流體噴口包括條形噴口，以使每個(gè)所述主流體管上的所述條形噴口分別與全部的所述切割線之間以預(yù)設(shè)角度相對(duì)設(shè)置。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述主流體管的內(nèi)腔包括：用于容納所述液體的液體腔和用于容納氣體的氣體腔；

所述噴頭包括：雙流式噴嘴；

所述雙流式噴嘴的進(jìn)液口與所述液體腔連通；所述雙流式噴嘴的進(jìn)氣口與所述氣體腔連通。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，每個(gè)所述主流體管上均設(shè)有所述超聲發(fā)生器，以對(duì)所述主流體管的內(nèi)腔中的所述目標(biāo)流體進(jìn)行超聲震蕩。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，每個(gè)所述噴頭中均固定設(shè)有所述超聲發(fā)生器，以對(duì)所述噴頭中的所述目標(biāo)流體進(jìn)行超聲震蕩。

在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述主流體管的兩端分別與不同的連接桿固定連接，且連接至同一所述主流體管的兩個(gè)連接桿分別與一個(gè)所述槽輪的兩端活動(dòng)連接。

本申請(qǐng)的另一個(gè)方面提供了一種用于多線切割的超聲輔助排屑裝置，包括：變頻器、連接至該變頻器的壓電器以及所述的超聲噴頭組件；