[發明專利]一種用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法及熱電薄膜

在審

• 申請號: 202211724803.2
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN116253297A
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 陳躍星;張君澤;李甫;鄭壯豪;梁廣興;范平
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C01B19/04
• 分類號: C01B19/04;H10N10/852;H10N10/01;C23C14/58;C23C14/35
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 莊敏芳

1.一種用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：

采用靶材在襯底上制備前驅膜，以使所述前驅膜沉積在所述襯底上；

夾持并封合所述襯底和所述前驅膜的周緣，并將夾持并封合后的所述襯底和所述前驅膜放置在反應爐內，其中，所述前驅膜的端面朝上；

將硒粉末加入到所述反應爐內；

封閉并加熱所述反應爐，以使所述前驅膜與所述硒粉末進行硒化反應。

2.如權利要求1所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述襯底為聚酰亞胺襯底，其中，所述采用靶材在襯底上制備前驅膜，以使所述前驅膜沉積在所述襯底上之前，所述方法還包括：

對聚酰亞胺襯底按照去離子水、酒精和丙酮的順序浸泡并清洗20-30min。

3.如權利要求1所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述采用靶材在襯底上制備前驅膜，以使所述前驅膜沉積在所述襯底上的步驟中：

所述靶材通過磁控濺射在襯底上制備前驅膜，工作氣壓為0.5pa，功率為20w。

4.如權利要求1所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述夾持并封合所述襯底和所述前驅膜的周緣具體為：

通過夾具組件夾持并封合所述襯底和所述前驅膜的周緣。

5.如權利要求4所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述通過夾具組件夾持并封合所述襯底和所述前驅膜的周緣的步驟中：

所述夾具組件包括下夾具和上夾具，所述下夾具上開設有第一安裝口，所述上夾具上開設有與所述第一安裝口相對應的第二安裝口，所述第一安裝口與所述第二安裝口連通，所述下夾具的內壁上位于所述第一安裝口處設置有放置臺階，所述放置臺階用于放置所述襯底和所述前驅膜，所述上夾具上設置有與所述放置臺階相對應的凸起，其中，所述襯底的尺寸大于第一安裝口的內尺寸。

6.如權利要求1所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，在所述將硒粉末加入到所述反應爐內之后，所述封閉并加熱所述反應爐之前，所述方法還包括：

對反應爐內進行惰性氣體沖洗操作。

7.如權利要求6所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述對反應爐內進行惰性氣體沖洗操作具體為：

將惰性氣體通入至所述反應爐內進行沖洗。

8.如權利要求7所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，在所述將惰性氣體通入至所述反應爐內進行沖洗之后，所述方法還包括：

通過惰性氣體保持所述反應爐內的氣壓低于標準大氣壓。

9.如權利要求2所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法，其特征在于，所述反應爐為石英管爐。

10.一種用硒氛圍化合制備的熱電薄膜，其特征在于，其基于如權利要求1-9任意一項所述的用硒氛圍化合制備熱電薄膜的方法所制備的。