[發(fā)明專(zhuān)利]兆聲輔助的研磨盤(pán)及研磨總成

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211702503.4
• 申請(qǐng)日: 2022-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115972081A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫勇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 萬(wàn)華化學(xué)集團(tuán)電子材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/11
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/11;B24B37/34;B24B47/00;B24B57/00
• 代理公司: 北京信諾創(chuàng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11728
• 代理人: 王媛媛;楊仁波

1.一種兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于，包括：

研磨盤(pán)本體，所述研磨盤(pán)本體的第一表面開(kāi)設(shè)有容納槽；

上盤(pán)，所述上盤(pán)覆蓋所述研磨盤(pán)本體的第一表面，并與所述研磨盤(pán)本體可拆卸連接；

兆聲發(fā)生器；

換能器，所述換能器設(shè)置于所述容納槽內(nèi)，并與所述兆聲發(fā)生器電連接；

匹配層，所述匹配層在所述容納槽內(nèi)與所述換能器朝向所述上盤(pán)的一側(cè)表面固定連接，并與所述上盤(pán)抵接；

傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與所述研磨盤(pán)本體固定連接；

驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述傳動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于，還包括：

研磨墊，所述研磨墊與所述上盤(pán)背向所述容納槽的一側(cè)表面固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述研磨墊朝向所述上盤(pán)的一側(cè)表面設(shè)置有膠粘層，所述研磨墊與所述上盤(pán)膠粘連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于，還包括：

用于監(jiān)測(cè)晶圓表面膜層厚度的終點(diǎn)檢測(cè)裝置，所述終點(diǎn)檢測(cè)裝置設(shè)置于所述容納槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述終點(diǎn)檢測(cè)裝置包括光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)裝置和電渦流終點(diǎn)檢測(cè)裝置中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述換能器、所述匹配層和所述研磨盤(pán)本體同軸設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述兆聲發(fā)生器發(fā)出的兆聲頻率為850KHz-1.4MHz。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述上盤(pán)與所述研磨盤(pán)本體螺栓連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)，其特征在于：

所述匹配層朝向所述換能器的一側(cè)表面設(shè)置有膠粘層，所述匹配層和所述換能器膠粘連接。

10.一種研磨總成，包括研磨頭、研磨液供液臂和研磨墊修整器，其特征在于，還包括權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的兆聲輔助的研磨盤(pán)。