[發明專利]一種MCS絕壓和密封表壓傳感器及其制作方法

在審

• 申請號: 202211697168.3
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN116296035A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 郭和平;谷榮祥;萬樺坪;郭文成
• 申請（專利權）人: 西安中星測控有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L9/08;G01L19/14;B23K31/02
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 李傳亮

本申請涉及一種MCS絕壓和密封表壓傳感器及其制作方法，涉及壓力傳感器制作技術的領域，其包括MCS壓力傳感器本體以及MCS背壓腔殼體，MCS壓力傳感器本體包括彈性體外殼以及感壓膜片，彈性體外殼的兩端開口設置，感壓膜片覆設在彈性體外殼一端的端部開口上，感壓膜片上刻蝕有惠斯通電橋；感壓膜片位于惠斯通電橋上的位置設置有引線；MCS背壓腔殼體上留有供彈性體外殼插入的配合腔，MCS背壓腔殼體的端部設置有孔型可伐針，引線穿過孔型可伐針后二者之間通過焊接密封；MCS背壓腔殼體的端部還開設有通氣孔，通氣孔在MCS背壓腔殼體內抽真空或加注惰性氣體后焊接密封。本申請具有改善密封表壓型和絕壓型壓力傳感器的制作難度的問題的效果。

技術領域

本申請涉及壓力傳感器制作技術的領域，尤其是涉及一種MCS絕壓和密封表壓傳感器及其制作方法。

背景技術

目前,?壓力傳感器主要用于測量流體的壓力、液位、差壓、流量或重量，并廣泛應用于現代生活、工業控制、汽車、石油化工、船舶、航空航天等諸多領域。隨著MCS技術壓力傳感器的應用越來越來廣泛，客戶對MCS技術壓力傳感器的應用形式和要求也越來越多，有的需要絕壓型，有的需要密封表壓型，還有的需要差壓型，不同型號的壓力傳感器有不同的使用場景。

由于表壓型壓力傳感器在工作時，其背壓腔必須和大氣相通才能正常工作。但是在戶外、潮濕、氣壓變化比較大的環境下，空氣中的雨水、濕氣、霧氣、凝露、有害介質等就會通過背壓腔的大氣通道進入傳感器內部，對傳感器的電路形成傷害，所以在此情況下如果用表壓型產品就縮短壓力傳感器的壽命，有些或者根本就沒法準確測量，這種情況下只能選用密封表壓或絕壓傳感器。還有就是航空、航天、航海領域由于使用環境極其惡劣和復雜，環境壓力變化大、鹽霧非常嚴重，這種環境只能選用絕壓型壓力傳感器才能準確的測量流體的壓力，通過流體的壓力再換算成重量、加速度、速度、高度等參數。

針對上述中的相關技術，申請人認為，絕壓型和密封表壓型壓力傳感器由于使用場景的不同，其制作要求也相對應的增加，比如絕壓型的壓力傳感器需要內部為真空，而密封表壓型壓力傳感器需要內部充斥惰性氣體，如何設計密封表壓型壓力傳感器以及絕壓型傳感器成為了現在亟待解決的一個技術難題，而且絕壓型和密封表壓型壓力傳感器的制作難度也進一步增加。

發明內容

為了改善密封表壓型和絕壓型壓力傳感器的制作難度的問題，本申請的目的是提供一種MCS絕壓和密封表壓傳感器及其制作方法。

第一方面，本申請提供的一種MCS絕壓和密封表壓傳感器采用如下的技術方案：

一種MCS絕壓和密封表壓傳感器，包括MCS壓力傳感器本體以及MCS背壓腔殼體，所述MCS壓力傳感器本體包括彈性體外殼以及感壓膜片，所述彈性體外殼的兩端開口設置，所述感壓膜片覆設在彈性體外殼一端的端部開口上，所述感壓膜片上刻蝕有惠斯通電橋；所述感壓膜片位于惠斯通電橋上的位置設置有引線；所述MCS背壓腔殼體上留有供彈性體外殼插入的配合腔，所述MCS背壓腔殼體的端部設置有孔型可伐針，所述引線穿過孔型可伐針后二者之間通過焊接密封；所述MCS背壓腔殼體的端部還開設有通氣孔，所述通氣孔在MCS背壓腔殼體內抽真空或加注惰性氣體后焊接密封。

通過采用上述技術方案，將引線穿過孔型可伐針后進行焊接密封，這時MCS背壓腔殼體內的背壓腔只通過通氣孔與外界連通，這時通過通氣孔在MCS背壓腔殼體內抽真空后立即將通氣孔焊接密封，這時便能夠讓MCS背壓腔殼體的背壓腔內形成真空環境，從而能夠方便地制作成MCS絕壓型壓力傳感器；同樣地，通過通氣孔在MCS背壓腔殼體內注入惰性氣體后讓MCS背壓腔殼體內的背壓腔處于標準大氣壓的壓力下，這時立即將通氣孔焊接密封，便能夠制作成MCS密封表壓型壓力傳感器；這樣設置后，不僅能夠讓MCS絕壓型壓力傳感器和MCS密封表壓型壓力傳感器制作更為簡單，而且MCS絕壓型壓力傳感器和MCS密封表壓型壓力傳感器也能夠輕松實現設計并且進行使用。

可選的，所述彈性體外殼以及MCS壓力傳感器本體的截面形狀為圓形。