[發明專利]一種全自動旋涂裝置

在審

• 申請號: 202211674339.0
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN115805167A
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 蘇正華
• 申請（專利權）人: 長沙一清智能設備有限公司
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/08;B05C9/14;B05C13/02;B05C11/10
• 代理公司: 長沙智勤知識產權代理事務所(普通合伙) 43254
• 代理人: 曾芳琴

本發明公開一種全自動旋涂裝置，包括物料臺、機械臂、旋涂儀、加熱器、滴膠設備和控制器，控制器分別電連接機械臂、旋涂儀、加熱器和滴膠設備；控制器用于控制機械臂將物料臺內基片送入旋涂儀，以使旋涂儀將基片固定；控制器還用于控制機械臂驅動滴膠設備移動至旋涂儀上方位置，以使滴膠設備向旋涂儀內基片滴膠；控制器還用于控制旋涂儀驅動滴膠后的基片旋轉，以使機械臂將旋轉后的基片送入加熱器；控制器還用于控制加熱器對旋轉后的基片加熱，以使機械臂將加熱后的基片送入物料臺。本發明提出技術方案中以使整個旋涂法的實驗過程完全實現自動化和機械化，這樣既提高了作業效率，又降低了失誤率。

技術領域

本發明涉及實驗設備技術領域，特別涉及一種全自動旋涂裝置。

背景技術

目前，薄膜材料的使用越來越普遍，薄膜材料存在多種制備方法，例如磁控濺射法、絲網印刷法、熱蒸發法、電沉積法、化學水浴沉積法，以及旋轉涂覆法等。在上述各種方法中，旋轉涂覆法由于屬于非真空制備法，且具備沉積裝置結構簡單、能耗小等優點而受到了科研界和產業界的廣泛青睞。

旋轉涂覆法主要設備為旋涂儀(或者勻膠機)和加熱板，過程包括滴膠、旋揮發成膜、加熱干燥幾個步驟。通過控制勻膠的時間，轉速，滴液量以及所用溶液的濃度、粘度和加熱時間溫度等來控制成膜的厚度和薄膜質量。

首先把清洗干凈的基片放置在旋涂儀的真空吸盤上，打開真空泵把基片吸附在托盤上，然后用滴管吸取一定量的旋涂溶液滴在基片上，再啟動旋涂按鈕，托盤開始按照程序先低速后高速開始轉動，在基片上形成薄薄的一層薄膜，然后放在加熱板上加熱干燥，去除有機雜質殘留，得到前驅體薄膜。重復整個過程，設定循環次數可以得到不同厚度的薄膜。在實驗室中，旋涂法通常是人工手動操作，因而存在很多不可控的因素，例如每次滴膠的量和滴膠的位置都是工作人員通過肉眼識別，一旦出現誤差會導致形成的薄膜均勻性變差，以及為了增加薄膜厚度，需要工作人員增加旋涂和加熱次數，導致制備時間過長，長時間的重復作業，工作人員容易疲勞極易出現操作失誤。

發明內容

本發明的主要目的是提供一種全自動旋涂裝置，旨在解決現有實驗室內人工使用旋涂儀制作薄膜過程生產效率低和生產過程容易出現誤差的問題。

為實現上述目的，本發明提出的技術方案是：

一種全自動旋涂裝置，包括物料臺、機械臂、旋涂儀、加熱器、滴膠設備和控制器，所述控制器分別電連接所述機械臂、所述旋涂儀、所述加熱器和所述滴膠設備；所述控制器用于控制所述機械臂將所述物料臺內基片送入所述旋涂儀，以使所述旋涂儀將基片固定；所述控制器還用于控制所述機械臂驅動所述滴膠設備移動至所述旋涂儀上方位置，以使所述滴膠設備向所述旋涂儀內基片滴膠；所述控制器還用于控制所述旋涂儀驅動滴膠后的基片旋轉，以使所述機械臂將旋轉后的基片送入所述加熱器；所述控制器還用于控制所述加熱器對旋轉后的基片加熱，以使所述機械臂將加熱后的基片送入所述物料臺。

優選的，所述物料臺設置至少一物料架，所述物料架用于容納基片；所述機械臂用于驅動容納基片的所述物料架依次進入所述旋涂儀和所述加熱器加工，以使所述機械臂驅動容納基本所述物料架加工后進入所述物料臺。

優選的，所述物料架包括底座和若干限位塊，各所述限位塊沿所述底座的周向間隔設置，各所述限位塊圍合形成容納空間，所述容納空間內用于容納矩形基片；所述機械臂用于抓取所述底座移動所述物料架。

優選的，所述滴膠設備包括架體、可調支架和至少一滴膠器，所述可調支架可拆卸的設置于所述架體靠近所述旋涂儀的一側，各所述滴膠器可拆卸的設置于所述可調支架，各所述滴膠器用于儲存不同的膠液；所述機械臂用于驅動各所述滴膠器移動至所述旋涂儀上方位置，以使各所述滴膠器向位于所述旋涂儀的基片滴下不同種類的膠液。