[發明專利]一種用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置及方法在審
| 申請號： | 202211669363.5 | 申請日： | 2022-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN115849701A | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發明（設計）人： | 趙輝 | 申請（專利權）人： | 藤倉烽火光電材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C03B37/018 | 分類號： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 彭程程 |
| 地址： | 430205 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 沉積 過程 制備 錐形 疏松 裝置 方法 | ||
1.一種用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，包括：
兩個間隔設置的卡盤(1)，分別用于與靶棒(3)的兩端連接，以轉動所述靶棒(3)；
排氣組件，其用于在所述靶棒(3)沉積過程中抽排氣體以使所述靶棒(3)的端部在沉積過程中形成錐形部(31)。
2.如權利要求1所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，所述排氣組件包括：
軸向管(41)，其用于朝向所述靶棒(3)抽排氣體；
斜切管(42)，其用于朝向所述靶棒(3)的端部抽排氣體以形成所述錐形部(31)，所述斜切管(42)與所述靶棒(3)的軸線成設定夾角。
3.如權利要求2所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，所述設定夾角為120°。
4.如權利要求2所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，所述軸向管(41)與所述靶棒(3)的軸線平行。
5.如權利要求2所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，所述斜切管(42)的長度為100～400mm。
6.如權利要求1所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置，其特征在于，兩個所述卡盤(1)可沿軸向向相反方向移動。
7.一種用于在沉積過程中制備錐形疏松體的方法，其特征在于，利用如權利要求1-6任一所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的裝置實施，包括以下步驟：
將靶棒(3)安裝至兩個卡盤(1)之間，轉動所述卡盤(1)對靶棒(3)進行沉積；
在所述靶棒(3)沉積過程中，基于直徑壓力標定數據，根據沉積形成疏松體的直徑，控制排氣組件的抽排氣壓力，以在所述靶棒(3)沉積后形成具有錐形部(31)的疏松體。
8.如權利要求7所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的方法，其特征在于，所述排氣組件包括：
軸向管(41)，其用于朝向所述靶棒(3)抽排氣體；
斜切管(42)，其用于朝向所述靶棒(3)的端部抽排氣體以形成所述錐形部(31)，所述斜切管(42)與所述靶棒(3)的軸線成設定夾角。
9.如權利要求8所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的方法，其特征在于，在所述靶棒(3)開始沉積之前，根據需要形成的錐形部(31)的長度，確定所述斜切管(42)的長度。
10.如權利要求7所述的用于在沉積過程中制備錐形疏松體的方法，其特征在于，兩個所述卡盤(1)可沿軸向向相反方向移動，待所述靶棒(3)沉積結束后，基于時間速率標定數據，根據疏松體燒固時間，控制兩個卡盤(1)沿軸線方向相互遠離的移動速率。
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