[發明專利]紫外激光器的校準方法及紫外激光器

在審

• 申請號: 202211664075.0
• 申請日: 2022-12-23
• 公開（公告）號: CN116111438A
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 楊慶雙;劉猛;余冠南
• 申請（專利權）人: 深圳市杰普特光電股份有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 姚大雷

本申請實施例提供一種紫外激光器的校準方法及紫外激光器，涉及激光器技術領域。本申請提供的紫外激光器的校準方法及紫外激光器，先獲取所述紫外激光器的實時功率，再根據所述實時功率判斷是否需要對所述紫外激光器執行功率校準操作。若判定需要對所述紫外激光器執行功率校準操作，則根據所述實時功率和所述紫外激光器的出廠功率確定對應所述紫外激光器的倍頻組件的溫度調整方案，并控制所述倍頻組件執行所述溫度調整方案。這樣，可以自動監控紫外激光器的實時功率來判斷是否出現功率衰減，并在出現功率衰減時控制倍頻組件執行溫度調整方案實現溫度補償進而使得激光功率自動恢復，通過簡便的操作實現激光功率的自動、準確地校準。

技術領域

本申請涉及激光器技術領域，尤其涉及一種紫外激光器的校準方法及紫外激光器。

背景技術

在激光技術應用領域，紫外激光器被廣泛應用在科研、工業加工、醫療等方面，紫外皮秒激光器輸出的可靠性和穩定性要求較高。紫外激光器通常包括紫外皮秒激光器和紫外納秒激光器，紫外激光器通常具有倍頻組件和溫度控制模組。紫外激光器在使用中經常會出現輸出功率衰減即實際輸出功率低于出廠標定功率的情況，從而影響激光器的加工使用。功率衰減的原因通常是因為倍頻晶體的轉換效率發生了改變，而倍頻晶體的轉換效率與其溫度密切相關。

現有的校準方式是在激光器輸出端放置功率計然后人為的通過激光器人機交互界面或上位機軟件手動的修改倍頻晶體溫度同時觀察功率計上顯示功率是否達到出廠標定功率值來校準。此種操作方法過程相對繁瑣，且人工校準的準確性較差。

發明內容

為了解決上述技術問題，本申請實施例提供了一種紫外激光器的校準方法及紫外激光器。

第一方面，本申請實施例提供了一種紫外激光器的校準方法，應用于紫外激光器，所述方法包括：

獲取所述紫外激光器的實時功率；

根據所述實時功率判斷是否需要對所述紫外激光器執行功率校準操作；

若判定需要對所述紫外激光器執行功率校準操作，則根據所述實時功率和所述紫外激光器的出廠功率確定對應所述紫外激光器的倍頻組件的溫度調整方案；

控制所述倍頻組件執行所述溫度調整方案。

根據本申請的一種具體實施方式，所述獲取所述紫外激光器的實時功率的步驟，包括：

在所述紫外激光器的輸出激光中分離出測試光束；

通過光電探測器將所述測試光束轉換為電脈沖信號，并通過模數轉換器將所述電脈沖信號轉換得到數字信號；

接收所述數字信號并計算對應的所述實時功率。

根據本申請的一種具體實施方式，所述通過模數轉換器將所述電脈沖信號轉換得到數字信號的步驟之前，所述方法還包括：

對所述電脈沖信號進行濾波降噪處理。

根據本申請的一種具體實施方式，所述根據所述實時功率和所述紫外激光器的出廠功率確定對應所述紫外激光器的倍頻組件的溫度調整方案，控制所述倍頻組件執行所述溫度調整方案的步驟，包括：

根據所述實時功率和所述出廠功率計算補償溫度；

控制所述倍頻組件根據所述補償溫度執行溫度提升操作，直至達到預定條件時停止。

根據本申請的一種具體實施方式，所述預定條件包括以下任一種：

執行溫度提升操作的過程中所述紫外激光器的實時功率達到所述出廠功率；

所述倍頻組件的實時溫度達到所述補償溫度；

執行溫度提升操作的時長達到時長閾值。