[發明專利]晶圓評估方法、裝置及可讀存儲介質在審
| 申請號： | 202211657812.4 | 申請日： | 2022-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN115798558A | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發明（設計）人： | 史進;李佳豪 | 申請（專利權）人： | 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司 |
| 主分類號： | G11C29/00 | 分類號： | G11C29/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 李清風 |
| 地址： | 710000 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 評估 方法 裝置 可讀 存儲 介質 | ||
1.一種晶圓評估方法，其特征在于，包括：
獲取晶圓圖像；
在所述晶圓圖像中劃分多個區域；
按照相鄰兩個區域為一組，在所述多個區域中確定出多個區域組；
計算所述區域組中的兩個區域的粒子密度比；
在計算出的所述粒子密度比大于預設門限的情況下，確定所述晶圓圖像對應的晶圓為異常產品。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述晶圓圖像中劃分多個區域，包括：
在所述晶圓圖像中按照由內向外，等間距劃分出多個圓心相同的環形區域。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個區域的數量為5至15個。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述預設門限為3.5至4.5。
5.一種晶圓評估裝置，其特征在于，包括：
獲取模塊，用于獲取晶圓圖像；
劃分模塊，用于在所述晶圓圖像中劃分多個區域；
第一確定模塊，用于按照相鄰兩個區域為一組，在所述多個區域中確定出多個區域組；
計算模塊，用于計算所述區域組中的兩個區域的粒子密度比；
第二確定模塊，用于在計算出的所述粒子密度比大于預設門限的情況下，確定所述晶圓圖像對應的晶圓為異常產品。
6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述劃分模塊，具體用于：
在所述晶圓圖像中按照由內向外，等間距劃分出多個圓心相同的環形區域。
7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述多個區域的數量為5至15個。
8.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述預設門限為3.5至4.5。
9.一種可讀存儲介質，其特征在于，所述可讀存儲介質上存儲程序或指令，所述程序或指令被處理器執行時實現如權利要求1-4任一項所述的晶圓評估方法的步驟。
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