[發明專利]系統響應的實時檢測及校正

在審

• 申請號: 202211656396.6
• 申請日: 2019-12-12
• 公開（公告）號: CN115810529A
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: H·施托舒斯;S·艾林;C·西爾斯
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: H01J37/153
• 分類號: H01J37/153;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/28;H01J37/304;H01J37/22;H01J37/244;G06N3/08;G06N20/00;G06N3/047;G06N3/045;G06N3/044;G01N23/2251;H01
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種方法，其包括：

向樣品發射電子束；

調制所述電子束以獲得束信號；

使用電子檢測器檢測由所述樣品發射的次級和/或背向散射電子以獲得電子數據，其中所述電子數據定義檢測信號；

使用處理器確定控制所述束信號的波與用于所述檢測信號的波之間的比較；以及

使用所述處理器基于所述比較對所述檢測信號進行濾波。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法進一步包括：

將高通濾波器應用于所述檢測信號以獲得背向散射電子數據。

3.根據權利要求2所述的方法，其中對所述檢測信號進行濾波進一步包括從所述電子數據中減去所述背向散射電子數據以獲得次級電子數據。

4.根據權利要求2所述的方法，其中對所述檢測信號進行濾波進一步包括確定相對分率，所述相對分率是所述背向散射電子數據的強度與所述電子數據的強度的比率。

5.根據權利要求2所述的方法，其進一步包括：

使用對置電子檢測器檢測由所述樣品發射的次級和/或背向散射電子，以獲得對置電子數據；

使用所述處理器比較所述電子數據和所述對置電子數據以產生傾斜數據；及

使用所述傾斜數據來改變所述電子束的傾斜。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述調制包括改變所述電子束的束電流。

7.根據權利要求1所述的方法，其中所述調制包括在接通和斷開之間切換所述電子束。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述調制包括在束集堆和所述樣品之間引導所述電子束。

9.根據權利要求1所述的方法，其中所述調制包括使所述電子束偏轉穿過所述樣品。

10.一種系統，其包括：

電子束工具，所述電子束工具包括：

電子束發射器，其經配置以向樣品發射電子束中的電子；

載臺，其經配置以固持所述樣本；

電子檢測器，其經配置以檢測由所述樣品發射的次級和/或背向散射電子以獲得電子數據，其中所述電子數據定義檢測信號；及

控制器，所述控制器與所述電子束工具進行電子通信，所述控制器具有處理器；

其中所述控制器經配置以：

指示所述電子束發射器調制所述電子束以獲得束信號；

確定控制所述束信號的波與用于所述檢測信號的波之間的比較；及

使用所述比較對所述檢測信號進行濾波。

11.根據權利要求10所述的系統，其中所述控制器進一步經配置以：

將高通濾波器應用于所述檢測信號以獲得背向散射電子數據。

12.根據權利要求11所述的系統，其中所述控制器經配置以進一步通過從所述電子數據中減去所述背向散射電子數據來過濾所述檢測信號，以獲得次級電子數據。

13.根據權利要求11所述的系統，其中所述控制器經配置以進一步通過以下步驟對所述檢測信號進行濾波：

確定相對分率，所述相對分率是所述背向散射電子數據的強度與所述電子數據的強度的比率。

14.根據權利要求10所述的系統，進一步包括：

對置電子檢測器，其經配置以檢測由所述樣品發射的次級和/或背向散射電子以獲得對置電子數據；及

其中所述控制器進一步經配置以：

比較所述電子數據和所述對置電子數據以產生傾斜數據；及

使用所述傾斜數據來改變所述電子束發射器的角度，從而改變所述電子束的傾斜。

15.根據權利要求10所述的系統，其中所述控制器經配置以通過指示所述電子束發射器改變所述電子束的束電流來調制所述電子束。