[發明專利]半導體器件封裝裝置在審
| 申請號: | 202211645919.7 | 申請日: | 2022-12-21 |
| 公開(公告)號: | CN116053162A | 公開(公告)日: | 2023-05-02 |
| 發明(設計)人: | 于泳 | 申請(專利權)人: | 西安順暉電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 韓玙 |
| 地址: | 710077 陜西省西安市高新*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體器件 封裝 裝置 | ||
1.半導體器件封裝裝置,包括操作臺(1),其特征在于:所述操作臺(1)的上表面固定連接有箱體(2),所述箱體(2)的內部安裝有一組粘接膠(3),所述操作臺(1)的上方設置有壓裝機構(4),所述壓裝機構(4)包括壓板(404),所述壓板(404)的下方設置有定位機構(5),所述定位機構(5)包括第一雙向絲桿(501)和第二雙向絲桿(508),所述箱體(2)的外表面安裝有第一電機(502)和第二電機(509),所述第一電機(502)的輸出端與第一雙向絲桿(501)的一端固定連接,所述第二電機(509)的輸出端與第二雙向絲桿(508)的一端固定連接。
2.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述壓裝機構(4)還包括兩個U形板(401),兩個所述U形板(401)的底面均與操作臺(1)的上表面固定連接,兩個所述U形板(401)的內部均滑動連接有滑板(402),兩個所述滑板(402)相互靠近的一面分別與壓板(404)的兩側面固定連接。
3.根據權利要求2所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:兩個所述U形板(401)的內頂壁均安裝有兩個電動伸縮桿(403),且電動伸縮桿(403)的伸縮端與滑板(402)的上表面固定連接。
4.根據權利要求1所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第一雙向絲桿(501)的外表面螺紋連接有兩個第一螺紋板(503),兩個所述第一螺紋板(503)的上表面均固定連接有第一滑塊(504),兩個所述第一滑塊(504)均滑動連接在箱體(2)的內部,兩個所述第一滑塊(504)的上表面均固定連接有第一矩形筒(505)。
5.根據權利要求4所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:兩個所述第一矩形筒(505)的內部均滑動連接有兩個第一矩形桿(506),且第一矩形桿(506)的一端貫穿第一矩形筒(505)并延伸至第一矩形筒(505)的外部,四個所述第一矩形桿(506)的外表面均固定連接有直角定位板(507)。
6.根據權利要求5所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述定位機構(5)還包括兩個第二矩形筒(512),兩個所述第二矩形筒(512)的內部均滑動連接有兩個第二矩形桿(513),且第二矩形桿(513)的一端貫穿第二矩形筒(512)并延伸至第二矩形筒(512)的外部,四個所述第二矩形桿(513)的外表面分別與四個直角定位板(507)的外表面固定連接。
7.根據權利要求6所述的半導體器件封裝裝置,其特征在于:所述第二雙向絲桿(508)的外表面螺紋連接有兩個第二螺紋板(510),兩個所述第二螺紋板(510)的上表面均固定連接有第二滑塊(511),兩個所述第二滑塊(511)均滑動連接在箱體(2)的內部,兩個所述第二滑塊(511)的上表面分別與兩個第二矩形筒(512)的底面固定連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





