[發明專利]壓力傳感器

有效

• 申請號: 202211637925.8
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN115615587B
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 呂萍;李剛
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: G01L1/20
• 分類號: G01L1/20;G01L9/02
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 黃威

1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括：

基底，在所述基底的厚度方向上，所述基底具有相對的第一表面和第二表面；所述基底包括容納在所述基底的主體內部的第一空腔以及位于所述基底的所述第一空腔和所述第一表面之間的第一力敏感膜，在所述基底的厚度方向上，所述第一空腔包括相對設置的底部和頂部，所述頂部與所述第一力敏感膜直接接觸；

多個壓敏電阻，所述多個壓敏電阻設置在所述第一力敏感膜遠離所述第一空腔的一側，所述多個壓敏電阻的阻值隨所述第一力敏感膜的形變而變化；

在所述第一空腔內設置有至少一個第一凸起部，在所述基底的厚度方向上，所述第一凸起部的高度小于所述第一空腔的深度，每個所述壓敏電阻的投影位于所述第一空腔的投影范圍內，且每個所述壓敏電阻的投影與所述第一凸起部的投影不交疊；

其中，在所述第一空腔內還設置有至少一個第二凸起部，在所述基底的厚度方向上，所述第二凸起部的高度小于所述第一空腔的深度；所述至少一個第一凸起部設置在所述第一空腔的所述底部朝向所述頂部的一側，所述至少一個第二凸起部設置在所述第一空腔的所述頂部朝向所述底部的一側；在所述第一力敏感膜在受力發生變形之后，并且位于所述第一凸起部之上的所述第一力敏感膜在與所述第一凸起部接觸不發生變形的情況下，所述至少一個第二凸起部作為止擋件，用于限制所述第一力敏感膜發生側向滑動；

或者在所述第一空腔內還設置有至少一個第三凸起部，在所述基底的厚度方向上，所述第三凸起部的高度小于所述第一空腔的深度；所述至少一個第三凸起部設置在所述第一空腔的所述底部朝向所述頂部的一側，所述至少一個第一凸起部設置在所述第一空腔的所述頂部朝向所述底部的一側；在所述第一力敏感膜在受力發生變形之后，并且在所述第一凸起部與所述第一空腔的底部接觸之后，位于所述第一凸起部之上的所述第一力敏感膜不發生變形的情況下，所述至少一個第三凸起部作為止擋件，用于限制所述第一力敏感膜發生側向滑動。

2.如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述至少一個第一凸起部包括一個第一凸起部，

在所述基底的厚度方向上，所述第一凸起部的投影位于所述至少一個第二凸起部的投影所圍合區域內。

3.如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述至少一個第一凸起部包括多個第一凸起部，所述至少一個第二凸起部包括多個第二凸起部；

在所述基底的厚度方向上，所述多個第一凸起部的投影與所述多個第二凸起部的投影由內到外呈環形錯位排布。

4.如權利要求3所述的壓力傳感器，其特征在于，

當所述第一力敏感膜在受力發生變形之后，并且位于所述多個第一凸起部之上的所述第一力敏感膜在與所述多個第一凸起部接觸不發生變形的情況下，所述多個第二凸起部作為止擋件，用于限制所述第一力敏感膜發生側向滑動。

5.如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述至少一個第一凸起部包括一個第一凸起部，

在所述基底的厚度方向上，所述第一凸起部的投影位于所述至少一個第三凸起部的投影所圍合區域內。

6.如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述至少一個第一凸起部包括多個第一凸起部，所述至少一個第三凸起部包括多個第三凸起部；

在所述基底的厚度方向上，所述多個第一凸起部的投影與所述多個第三凸起部的投影由內到外呈環形錯位排布。

7.如權利要求6所述的壓力傳感器，其特征在于，

當所述第一力敏感膜在受力發生變形之后，并且在所述多個第一凸起部與所述第一空腔的底部接觸之后，位于所述多個第一凸起部之上的所述第一力敏感膜不發生變形的情況下，所述多個第三凸起部作為止擋件，用于限制所述第一力敏感膜發生側向滑動。

8.如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述至少一個第一凸起部的材料為硅、氧化硅以及氮化硅中的任意一種。