[發明專利]一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置及方法

有效

• 申請號: 202211636140.9
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN115616290B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 金永斌;王強;賀濤;丁寧;朱偉;章圣達;陳偉
• 申請（專利權）人: 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R35/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫佳佳;范晴

本發明公開了一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置及方法，裝置包括PC上位機、干簧管電路、四線開爾文微歐計，以及彈簧針轉接板、共接板；所述干簧管電路包括兩組干簧管，第一組干簧管的一端共接到四線開爾文微歐計的高電位施加線，第二組干簧管的一端共接到四線開爾文微歐計的高電位檢測線，兩組干簧管的另一端分別對應連接彈簧針轉接板上各轉接端子；待測的彈簧針分別連接在彈簧針轉接板上各轉接端子與共接板之間，共接板分別連接四線開爾文微歐計的低電位施加線和低電位檢測線；所述PC上位機連接控制干簧管電路的各干簧管的通斷，四線開爾文微歐計將檢測結果發送到PC上位機。本發明采用多通路拓撲提高了測試效率。

技術領域

本發明涉及集成電路封測測試領域，特別涉及一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置及方法。

背景技術

半導體集成電路封測，測試插座中彈簧針是連通被測集成電路芯片與測試功能板的重要電氣傳輸部分。彈簧針的阻值及每根彈簧針之間的差異，關系到每個測試路徑的功能以及性能測試穩定性。探針阻值根據集成電路芯片類型及測試項之間的差異，會影響到溫度ADC采樣電路的準確性，大規模集成電路下的直流壓降問題等，因此需要對彈簧針的電阻值進行準確測量并且能夠快速測試被使用探針每根針的阻值數據。現有的彈簧針來料阻值檢驗通常進行抽樣檢測，并在檢測時指定對應的指標以及公差，一直到測試插座成品出廠，皆不進行阻值測量。因此在產品輸出時，彈簧針所處的介質或使用環境不同的情況下，需要對彈簧針的實際阻值進行準確并且快速測量。

發明內容

本發明目的是：提供一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置及方法，實現實際產品彈簧針阻值的準確測量，多通路拓撲提高了測試效率。

本發明的技術方案是：

一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置，包括PC上位機、干簧管電路、四線開爾文微歐計，以及彈簧針轉接板、共接板；

所述干簧管電路包括兩組干簧管，每組干簧管的數量為n，第一組干簧管的一端共接到四線開爾文微歐計的高電位施加線HF，第二組干簧管的一端共接到四線開爾文微歐計的高電位檢測線HS，兩組干簧管的另一端分別對應連接彈簧針轉接板上各轉接端子；待測的n個彈簧針分別連接在彈簧針轉接板上各轉接端子與共接板之間，共接板分別連接四線開爾文微歐計的低電位施加線LF和低電位檢測線LS；

所述PC上位機連接控制干簧管電路的各干簧管的通斷，四線開爾文微歐計將檢測結果發送到PC上位機。

優選的，所述干簧管電路還包括TCP/IP通信模塊、單片機和多個晶體管，所述TCP/IP通信模塊一端連接PC上位機，另一端連接單片機，所述單片機分別連接控制多個晶體管，多個晶體管分別連接控制兩組干簧管的通斷。

優選的，所述四線開爾文微歐計通過RS232通訊模塊與PC上位機連接通信。

優選的，所述共接板采用鍍金板。

優選的，所述第一組干簧管通過Force1排線與彈簧針轉接板連接，第二組干簧管通過Sense1排線與彈簧針轉接板連接，兩組排線連接的彈簧針轉接板上的端子對應順序之間相互接通。

優選的，所述PC上位機的軟件按照兩組彈簧針和兩組干簧管的測試回路拓撲，將選通干簧管的對應通道分為Force1通道和Sense1通道兩組選通通道；Force1通道對應第一組干簧管，Sense1通道對應第二組干簧管。

一種開爾文方式多路彈簧針電阻測試方法，采用上述的開爾文方式多路彈簧針電阻測試裝置，測試方法包括步驟：

S1、PC上位機執行開始測試時，按照每根彈簧針的測試回路拓撲，選通干簧管的對應通道，對應通道分為Force1通道選通的位置以及Sense1通道選通的位置；

S2、完成選通后對應的彈簧針通道選通：Force1通道的第i干簧管選通，Sense 1通道的第i個干簧管選通，對應第i個彈簧針選通，其中1≤i≤n；