[發明專利]MOCVD反應室的隔離擋板裝置在審
| 申請號： | 202211625208.3 | 申請日： | 2022-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN115874281A | 公開（公告）日： | 2023-03-31 |
| 發明（設計）人： | 謝鵬飛;張志明;劉雷;邢志剛;徐春陽;金雋 | 申請（專利權）人： | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/14 | 分類號： | C30B25/14;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 吳浩 |
| 地址： | 201210 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mocvd 反應 隔離 擋板 裝置 | ||
1.一種MOCVD反應室的隔離擋板裝置，其特征在于，包括：
環形擋板、位于所述環形擋板內部適于容納冷卻液的夾層流道、位于所述夾層流道一端的注液通道、位于所述夾層流道另一端的出液通道，以及將所述夾層流道和所述注液通道連通的多個縱向分布的注入通路、將所述夾層流道和所述出液通道連通的多個縱向分布的排出通路。
2.根據權利要求1所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述夾層流道與所述環形擋板在豎直方向的剖面上具有相同的形狀，所述夾層流道由上至下包括多個內徑不同的環形段部，至少一個所述注入通路的注入點位于最上部的環形段部，以及至少一個所述注入通路的注入點位于最下部的環形段部。
3.根據權利要求2所述的隔離擋板裝置，其特征在于，每個所述環形段部均設有所述注入通路的注入點，每個所述環形段部上的所述注入通路的注入點均勻分布。
4.根據權利要求2所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述環形段部的內徑由上至下逐漸增大，且位于所述夾層流道最上部的環形段部的內徑上下均相同，其他環形段部的內徑以不同斜率由上至下逐漸增大。
5.根據權利要求2所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述注入通路和所述排出通路均位于所述夾層流道豎直方向的剖面上，每個所述注入通路與該所述注入通路所連通的環形段部的切面形成夾角，所述夾角均大于等于30°。
6.根據權利要求5所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述夾角均大于等于45°。
7.根據權利要求6所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述夾角均大于等于70°且小于等于120°。
8.根據權利要求5所述的隔離擋板裝置，其特征在于，當一個所述環形段部連通多個注入通路時，所述多個注入通路相互平行。
9.根據權利要求5所述的隔離擋板裝置，其特征在于，各個所述注入通路與該所述注入通路所連通的環形段部的切面形成的夾角角度均相等。
10.根據權利要求1所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述注入通路均沿水平方向設置。
11.根據權利要求1～10中任一項所述的隔離擋板裝置，其特征在于，所述注入通路和所述排出通路在所述夾層流道的兩端關于所述夾層流道的中心軸線對稱設置。
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