[發(fā)明專利]一種高選擇性玻璃蝕刻液及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211620103.9
• 申請(qǐng)日: 2022-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN116143415A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張演哲;賀兆波;葉瑞;歐陽(yáng)克銀;鐘昌東;郭嵐峰;黃鑼鑼;黎鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖北興福電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00;C09K13/08
• 代理公司: 宜昌市三峽專利事務(wù)所 42103
• 代理人: 成鋼

1.一種高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：所述的蝕刻液由質(zhì)量含量為1%-20%的非氧化性有機(jī)酸、無(wú)機(jī)酸，質(zhì)量含量為0.1%-20%的含氟鹽類，質(zhì)量含量為0.1%-15%的醇類化合物，質(zhì)量含量為0.01%-5%的陰離子氟碳表面活性劑，剩余物質(zhì)為水的成分所組成。

2.如權(quán)利要求1所述的高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：所述非氧化性有機(jī)酸、無(wú)機(jī)酸為鹽酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、草酸、檸檬酸、蘋果酸、或酒石酸中的一中或多種，酸的質(zhì)量總含量為1%-20%。

3.如權(quán)利要求2所述的高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：鹽酸不能和硝酸同時(shí)存在，且含有硝酸的蝕刻液中酸的總質(zhì)量不能超過(guò)蝕刻液總質(zhì)量的10%。

4.如權(quán)利要求1所述的高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：所述含氟鹽類為水溶性較好的氟化鈉、氟化鉀、氟化氫鈉、或氟化氫鉀中的一中或多種。

5.如權(quán)利要求1所述的高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：所述醇類化合物為水溶性佳的乙醇、乙二醇、異丙醇、或丙三醇中的一中或多種。

6.如權(quán)利要求1所述的高選擇性玻璃蝕刻液，其特征在于：所述陰離子氟碳表面活性劑為羧酸鹽型氟碳表面活性劑、磺酸鹽型氟碳表面活性劑、磷酸鹽型氟碳表面活性劑、或和硫酸鹽型氟碳表面活性劑中的一種或多種，具體有FC-1、FC-7、FC-13、FC-15。

7.采用權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的高選擇性玻璃蝕刻液的制備方法，其特征在于：須先將含氟鹽類充分溶解在超純水中，再加入醇類化合物，非氧化性無(wú)機(jī)酸、有機(jī)酸，陰離子氟碳表面活性劑等在常溫下混合均勻。

8.如權(quán)利要求7所述的高選擇性玻璃蝕刻液及其制備方法，其特征在于：高選擇性是針對(duì)玻璃的蝕刻與底層金屬的蝕刻速率比，蝕刻速率比值大于100，且底層金屬為銅、鈦、鉬一層或多層金屬。