[發(fā)明專利]SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211619735.3
• 申請(qǐng)日: 2022-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115880259A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 簡(jiǎn)曉敏;周全;李宜清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G06T7/00
• 分類號(hào): G06T7/00;G06T5/10;G06T5/00
• 代理公司: 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 吳浩

本發(fā)明提供了一種SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，所述SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，包括：獲取第一SEM圖像，對(duì)所述第一SEM圖像進(jìn)行傅里葉變換；根據(jù)第一SEM圖像進(jìn)行傅里葉變換的結(jié)果，獲取第一SEM圖像所對(duì)應(yīng)的頻譜圖和相位圖；根據(jù)頻譜圖中的亮點(diǎn)的幅值，獲取第一評(píng)分；根據(jù)相位圖重建SEM圖像，以獲取第二SEM圖像；根據(jù)第二SEM圖像的邊緣信息，獲取第二評(píng)分；根據(jù)第一評(píng)分和第二評(píng)分，獲取第一SEM圖像的質(zhì)量評(píng)價(jià)分?jǐn)?shù)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)需去除圖像噪聲，就可得到準(zhǔn)確的SEM圖像質(zhì)量的評(píng)價(jià)結(jié)果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法。

背景技術(shù)

在集成電路檢測(cè)領(lǐng)域中，為了獲得質(zhì)量更高的掃描電子顯微鏡(ScanningElectron Microscope，SEM)圖像，需要自動(dòng)的評(píng)價(jià)獲取圖像的質(zhì)量來(lái)輔助調(diào)節(jié)儀器參數(shù)。由于SEM圖像噪聲大，且在去除噪聲的同時(shí)會(huì)模糊SEM圖像的其它部分的信息，比如邊緣信息，導(dǎo)致難以區(qū)分質(zhì)量相似的圖像。此外，在評(píng)價(jià)同一場(chǎng)景的一組圖像時(shí)，由于SEM圖像是在運(yùn)動(dòng)中獲取的，圖像之間會(huì)有一些位移或旋轉(zhuǎn)。如果僅使用圖像中物體的邊緣來(lái)評(píng)價(jià)圖像的質(zhì)量，由于圖像中包含的邊緣的差異，圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)結(jié)果不準(zhǔn)確。

因此，有必要提出了一種SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于SEM圖像噪聲大，且在去除噪聲的同時(shí)會(huì)模糊SEM圖像的其它部分的信息，導(dǎo)致難以區(qū)分質(zhì)量相似的圖像，以及圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)結(jié)果不準(zhǔn)確的技術(shù)問(wèn)題。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，包括：S1、獲取第一SEM圖像，對(duì)所述第一SEM圖像進(jìn)行傅里葉變換；S2、根據(jù)所述第一SEM圖像進(jìn)行傅里葉變換的結(jié)果，獲取所述第一SEM圖像所對(duì)應(yīng)的頻譜圖和相位圖；S3、根據(jù)所述頻譜圖中的亮點(diǎn)的幅值，獲取第一評(píng)分，所述第一評(píng)分為所述第一SEM圖像的大尺度特征的評(píng)分；S4、根據(jù)所述相位圖重建SEM圖像，以獲取第二SEM圖像；S5、根據(jù)所述第二SEM圖像的邊緣信息，獲取第二評(píng)分，所述第二評(píng)分為所述第一SEM圖像的小尺度特征的評(píng)分；S6、根據(jù)所述第一評(píng)分和所述第二評(píng)分，獲取所述第一SEM圖像的質(zhì)量評(píng)價(jià)分?jǐn)?shù)。

其有益效果在于：本發(fā)明實(shí)施例所提供的SEM圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，通過(guò)同時(shí)結(jié)合大尺度特征、小尺度特征的豐富程度，得到SEM圖像的質(zhì)量評(píng)價(jià)分?jǐn)?shù)，大尺度特征用于描述SEM圖像的主要內(nèi)容，小尺度特征用于描述SEM圖像的物體邊緣信息，結(jié)合兩者后所得到的SEM圖像的質(zhì)量評(píng)價(jià)分?jǐn)?shù)，對(duì)SEM圖像的位移和旋轉(zhuǎn)的容忍度更強(qiáng)。能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)需去除圖像噪聲，就可得到準(zhǔn)確的SEM圖像質(zhì)量的評(píng)價(jià)結(jié)果。綜上，本發(fā)明實(shí)施例可以解決由于SEM圖像噪聲大，所導(dǎo)致的圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)困難的問(wèn)題，以及解決因僅使用圖像中物體的邊緣來(lái)評(píng)價(jià)圖像的質(zhì)量而導(dǎo)致圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)結(jié)果不準(zhǔn)確的問(wèn)題。

可選地，在S3中，包括：在所述頻譜圖中篩選滿足預(yù)設(shè)條件的部分亮點(diǎn)，根據(jù)所述滿足預(yù)設(shè)條件的部分亮點(diǎn)的幅值獲取所述第一評(píng)分。其有益效果在于：所述第一評(píng)分僅需要根據(jù)滿足預(yù)設(shè)條件的部分亮點(diǎn)的幅值獲得，在保證第一評(píng)分獲取的準(zhǔn)確度的前提下，計(jì)算量小。

可選地，在S3中，包括：在所述頻譜圖中篩選高亮點(diǎn)，所述高亮點(diǎn)為所述頻譜圖中幅值最大的部分亮點(diǎn)，根據(jù)所述高亮點(diǎn)的幅值獲取所述第一評(píng)分。其有益效果在于：高亮點(diǎn)更能體現(xiàn)頻譜圖中的低頻信號(hào)，能更好反映圖像中的大尺度特征，使得質(zhì)量評(píng)價(jià)分?jǐn)?shù)更準(zhǔn)確。

可選地，在S3中，包括：在所述頻譜圖中篩選出幅值最大且數(shù)量為預(yù)設(shè)數(shù)量的高亮點(diǎn)，組成點(diǎn)集L；對(duì)篩選出的所述高亮點(diǎn)的幅值求均值，得到所述第一評(píng)分。