[發明專利]一種具有分級冷卻功能的等離子體尾氣循環裝置

在審

• 申請號: 202211618846.2
• 申請日: 2022-12-15
• 公開（公告）號: CN116085812A
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 舒慶予;杜東恒;孫云鵬;邵家國
• 申請（專利權）人: 無錫海萊德智能科技有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23G5/46;F23J15/02;F23J15/06;F28D7/16;F28G1/08;B01D53/00
• 代理公司: 江蘇無錫蘇匯專利代理事務所(普通合伙) 32593
• 代理人: 沈彬彬

本發明公開了一種具有分級冷卻功能的等離子體尾氣循環裝置，屬于工業尾氣處理技術領域。本發明進氣組件、反應室，所述進氣組件設置在反應室上端，所述反應室的外套設有夾套，反應室的下方設置有導氣管，反應室的一側設置有水箱，水箱通過管道與夾套相連，所述反應室遠離水箱的一側設置有風冷塔，所述風冷塔內部設置有螺旋氣冷管，所述螺旋氣冷管與導氣管相連接，所述風冷塔遠離反應室的一側設置有除塵筒，所述螺旋氣冷管的一端與除塵筒相連，所述除塵筒內有除塵機構，所述反應室內部設置有若干根長短不一的導熱管，若干根所述導熱管傾斜設置，每相鄰的兩根導熱管傾斜方向相反，每根導熱管的兩端貫穿反應室。

技術領域

本發明涉及工業尾氣處理技術領域，具體為一種具有分級冷卻功能的等離子體尾氣循環裝置。

背景技術

半導體集成電路在第三次工業革命中的貢獻是巨大的，進入21世紀后，集成電路的運用幾乎涵蓋了人們生活中的所有部分，在半導體集成電路生產制造時，會排放大量含氟化合物尾氣，這些氣體屬于溫室氣體，不僅對環境危害大，而且有毒性，是我國嚴格限制排放的有害氣體，目前針對含氟化合物尾氣處理，一般采用高溫燃燒裂解或堿性水吸收中和等方法，高溫燃燒裂解處理尾氣的方法相較于其他處理方式而言，工序流程更加的簡潔直接、效率更高、處理得更加徹底，因此被芯片制造業大量地進行采用。

高溫燃燒裂解裝置產生的等離子氣體高達3000多度，需要借助多種方式對尾氣進行降溫，水循環降溫裝置使用時間變長后容易累積水垢，影響導熱效率，極其容易使得水循環降溫裝置燒壞，尾氣燃燒后產生的大量懸浮顆粒物質需要接觸過濾裝置進行處理，但懸浮顆粒物一多過濾裝置被堵塞過濾效率降低也就在所難免。

發明內容

本發明的目的在于提供一種具有分級冷卻功能的等離子體尾氣循環裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本發明提供如下技術方案：一種具有分級冷卻功能的等離子體尾氣循環裝置，包括進氣組件、反應室，所述進氣組件設置在反應室上端，所述反應室的外套設有夾套，反應室的下方設置有導氣管，反應室的一側設置有水箱，水箱通過管道與夾套相連，所述反應室遠離水箱的一側設置有風冷塔，所述風冷塔內部設置有螺旋氣冷管，所述螺旋氣冷管與導氣管相連接，所述風冷塔遠離反應室的一側設置有除塵筒，所述螺旋氣冷管的一端與除塵筒相連，所述除塵筒內有除塵機構。

進一步的，所述反應室內部設置有若干根導熱管，若干根所述導熱管沿反應室的徑向從內向外依次縮短，若干根導熱管傾斜設置，每相鄰的兩根導熱管傾斜方向相反，每根導熱管的兩端貫穿反應室，所述水箱的中部設置有斜隔板，所述斜隔板將水箱分為上腔及下腔，所述上腔及下腔相通，水箱的外側設置有水泵，所述水泵的抽水口通過管道與水箱下腔連接，水泵的壓水口通過管道與夾套連接，進氣組件射出高溫等離子尾氣，等離子尾氣在反應室中燃燒，每根導熱管被高溫尾氣所加熱，水泵抽取水箱中的水注入到反應室與夾套之間，水流過導熱管時吸收導熱管的熱量，水被加熱蒸發，高溫水流及水蒸氣向上流動，通過回水管流入到水箱上腔。

進一步的，所述夾套的上端連接有回水管，所述回水管的中部設置有蒸汽冷凝器，回水管的一端設置在水箱上腔的位置處，所述上腔中轉動設置有若干個散熱扇，每個散熱扇上有數個由導磁吸熱材料制成的葉片，若干個散熱扇由回水管一端向上腔與下腔相通一端從高到低設置，每兩個散熱扇之間設置有磁鐵，所有的所述磁鐵設置在水箱上，水蒸氣在蒸汽冷凝器中聚集冷卻呈水珠，隨著高溫水流流入水箱上腔，高溫水流沿著斜隔板流動，逐個沖擊若干個散熱扇，使得若干個散熱扇旋轉，同時高溫水流的流速變緩，與高溫水流接觸的葉片迅速吸收水流中的熱量，當葉片旋轉到兩塊磁鐵之間時，導磁吸熱材料中的磁疇受磁場的作用排布變得有序，材料的吸熱性能下降放出熱量，散熱扇在轉動的過程中還會使得靠近葉片的空氣流動，加速葉片的散熱，當葉片再次與高溫水流接觸時，葉片遠離磁場，材料中的磁疇排布無序，材料的吸熱性能提升進而吸熱，經過若干個散熱扇的吸熱降溫后，水流流入水箱的下腔中，實現對反應室的水冷循環。