[發明專利]一種熱式質量流量傳感器流道結構在審
| 申請號： | 202211615967.1 | 申請日： | 2022-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN115824332A | 公開（公告）日： | 2023-03-21 |
| 發明（設計）人： | 王浩;王音心;徐江;孫申厚;李春洋 | 申請（專利權）人： | 中電科芯片技術（集團）有限公司 |
| 主分類號： | G01F1/684 | 分類號： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 重慶輝騰律師事務所 50215 | 代理人： | 王海軍 |
| 地址： | 401332 重慶市*** | 國省代碼： | 重慶;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 質量 流量傳感器 結構 | ||
1.一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，包括：流量管殼(1)，敏感芯片(3)，引導件(4)，信號采集電路(5)；所述流量管殼(1)包括主管路(7)和旁管路(8)，所述旁管路(8)通過旁路進流口(2)和旁路出流口(6)連接在主管路(7)內壁；所述敏感芯片(3)設置在旁管路(8)內壁且與信號采集電路(5)連接；所述引導件(4)設置在主管路(7)內壁且所述引導件(4)一端設置在旁管路(7)的旁路進流口(2)前端，另一端設置在旁路出流口(6)后端。
2.根據權利要求1所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述旁管路(8)的旁路進流口(2)和旁路出流口(6)至少各一個。
3.根據權利要求2所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述旁管路(8)的旁路進流口(2)若為多個，則在敏感芯片(5)前合并為單個通道。
4.根據權利要求1所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述引導件(4)為多個，其數量根據旁管路(8)的旁路進流口(2)和旁路出流口(6)的數量決定。
5.根據權利要求4所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述引導件(4)的高度不小于所連接的旁管路(8)的旁路進流口(2)和旁路出流口(6)的直徑。
6.根據權利要求1或5所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述引導件(4)的直徑尺寸及位置限定旁路進流口(2)的截面積，旁路進流口(2)的截面積限定流體流入旁管路(8)的氣體流量，敏感芯片(3)根據流體流入旁管路(8)的氣體流量測量氣體流量大小。
7.根據權利要求1所述的一種熱式質量流量傳感器流道結構，其特征在于，所述流量管殼(1)內還包括流阻(11)，所述流阻(11)設置在主管路(7)內壁且所述流阻(11)一端設置在旁管路(8)的旁路進流口(2)前。
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