[發(fā)明專利]氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211601478.0
• 申請(qǐng)日: 2022-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN115613002B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬保群;陳濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陛通半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李艾

1.氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括：

腔體；

基臺(tái)，所述基臺(tái)包括臺(tái)面和基軸，所述臺(tái)面位于所述腔體內(nèi)，所述基軸連接所述臺(tái)面下表面，所述基軸穿過所述腔體連接有調(diào)節(jié)板；

行星組件，所述行星組件包括旋轉(zhuǎn)架，所述旋轉(zhuǎn)架內(nèi)周設(shè)置有內(nèi)齒圈，所述旋轉(zhuǎn)架底面中心與旋轉(zhuǎn)軸心轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)軸心安裝在支撐板上，所述旋轉(zhuǎn)軸心位于所述旋轉(zhuǎn)架內(nèi)的一端連接有行星架，所述行星架中心轉(zhuǎn)動(dòng)連有中心齒輪，所述行星架的多個(gè)端部分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有行星輪，所述行星輪分別與所述內(nèi)齒圈和中心齒輪嚙合；

多個(gè)旋轉(zhuǎn)升降組件，多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)升降組件通過固定板相連，所述旋轉(zhuǎn)升降組件與所述調(diào)節(jié)板相接，所述旋轉(zhuǎn)升降組件通過所述行星輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)升降；

所述旋轉(zhuǎn)升降組件為差動(dòng)螺旋組件，所述差動(dòng)螺旋組件包括：螺桿，所述螺桿下端通過支撐件連接于所述行星輪中心，所述螺桿兩端分別設(shè)置有螺紋旋向相同的第一螺旋副和第二螺旋副；

固定殼，多個(gè)所述固定殼通過所述固定板相連，所述固定殼內(nèi)設(shè)置有對(duì)應(yīng)所述第一螺旋副的第一內(nèi)螺紋；

差動(dòng)位移頭，所述差動(dòng)位移頭在所述固定殼內(nèi)平動(dòng)，所述差動(dòng)位移頭內(nèi)設(shè)置有對(duì)應(yīng)所述第二螺旋副的第二內(nèi)螺紋，所述差動(dòng)位移頭頂部設(shè)置為半球形，所述差動(dòng)位移頭頂部抵接所述調(diào)節(jié)板；

所述第一內(nèi)螺紋的導(dǎo)程大于第二內(nèi)螺紋的導(dǎo)程，所述第一螺旋副和第二螺旋副之間的螺桿外套設(shè)有彈簧，所述彈簧一端抵接所述第一螺旋副，所述彈簧另一端抵接所述固定殼或差動(dòng)位移頭；

所述支撐板和固定板通過安裝板固定連接于所述腔體下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述固定殼上端設(shè)置有內(nèi)六角導(dǎo)槽，所述差動(dòng)位移頭設(shè)置有外六角導(dǎo)柱，所述外六角導(dǎo)柱插入所述內(nèi)六角導(dǎo)槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述差動(dòng)位移頭表面設(shè)置有刻度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)板與所述腔體之間設(shè)置有多根固定螺柱，所述固定螺柱一端與所述腔體鎖緊，所述固定螺柱另一端穿過所述調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板兩側(cè)的固定螺柱上均螺紋連接有固定螺母。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述行星架上設(shè)置有連接所有中心齒輪和行星輪的輪軸，所述輪軸下端套設(shè)有限位套，所述輪軸上端設(shè)置有限位槽，所述限位槽內(nèi)卡設(shè)有等高隔離環(huán)，所述中心齒輪和行星輪卡設(shè)在所述等高隔離環(huán)與限位套之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述臺(tái)面連接有加熱器，所述基軸通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述調(diào)節(jié)板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述腔體與調(diào)節(jié)板之間的基軸外設(shè)置有波紋管，所述波紋管的兩端分別與所述腔體底部和調(diào)節(jié)板相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)架外周設(shè)置有防滑紋。