[發(fā)明專利]一種耐蝕鋁合金板材及其加工工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211599278.6
• 申請(qǐng)日: 2022-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN116005156A
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余加明;符金柱;黃添星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇世豪合金科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C28/00
• 分類號(hào): C23C28/00;C23C14/34;C23C14/16;C23C14/08;C23C8/36;C23C16/26;C23C16/52;C22C21/10
• 代理公司: 揚(yáng)州邗誠(chéng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32469
• 代理人: 吳淑芳

1.一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：包括以下步驟：

(1)取鋁合金基板，表面砂紙打磨，依次采用無水乙醇、去離子水超聲清洗10～20min，吹干后表面通過氬氣離子清洗5～10min，再以二氧化鈰靶、鋁靶、鈦靶、鉻靶共濺射，沉積底膜；

(2)在底膜表面進(jìn)行離子滲氮處理；

(3)取步驟(2)處理后的鋁合金基板，表面沉積DLC膜，去離子水超聲清洗，真空干燥，得到成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：步驟(1)中，共濺射具體步驟為：

S1：腔體內(nèi)通入氬氣，維持腔體壓強(qiáng)為0.5～1.0Pa，先開啟鉻靶和鋁靶，鉻靶功率為1500～2000W，鋁鈀功率為300～500W，濺射10～20min；

S2：關(guān)閉鉻靶，開啟二氧化鈰鈀，二氧化鈰鈀功率為100～200W，鋁鈀功率調(diào)整為150～200W，繼續(xù)濺射5～10min；

S3：重復(fù)S1～S2步驟2～3次，關(guān)閉二氧化鈰鈀；

S4：開啟鈦靶、鉻靶，鉻靶功率為1500～2000W，鈦靶功率為1000～1200W，鋁鈀功率調(diào)整至為300～500W，以鈦靶、鋁鈀、鉻靶共濺射40～50min，關(guān)閉靶材，形成底膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：步驟(3)中，DLC膜沉積工藝參數(shù)為：乙炔流量為50～60mL/min，氬氣流量為20～30mL/min，控制腔體內(nèi)壓強(qiáng)為2.0Pa，基體溫度為100～120℃，離子源功率4～5kW，沉積時(shí)間為2～3h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：步驟(2)中，離子滲氮溫度為460～480℃，滲氮時(shí)間為4～6h，滲氮壓力為0.6～0.8Pa。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：步驟(2)中，離子滲氮時(shí)在鋁合金基板周圍擺放海綿鈦、硼鐵混合料，實(shí)現(xiàn)鈦硼氮復(fù)合滲。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：鋁合金基板周圍1mm²單位面積內(nèi)放置8～10mg混合料，且混合料中海綿鈦、硼鐵的質(zhì)量比為3：1。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝，其特征在于：步驟(1)中，鋁合金基板各組分含量為：以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，Zn：5.85～6.42％、Mg：2.2～2.3％、Cu：2.13～2.18％、Fe：0.05～0.055％、Si：0.02～0.041％、Mn：0.01～0.019％、Zr：0.094～0.12％、Cr：0.003～0.01％，余量為Al和不可避免的雜質(zhì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任意一項(xiàng)所述的一種耐蝕鋁合金板材的加工工藝加工得到的鋁合金板材。