[發(fā)明專利]傳感器、磁場位置測(cè)量系統(tǒng)和用于確定位置的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211534704.8
• 申請(qǐng)日: 2022-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN116263316A
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬蒂亞斯·尼瑟默;烏爾里克·里特爾;克里斯托夫·博肯霍夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 巴魯夫公司
• 主分類號(hào): G01B7/00
• 分類號(hào): G01B7/00;G01B7/02;G01B11/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;吳啟超

1.一種用于磁場位置測(cè)量系統(tǒng)的傳感器(10)，其具有至少一個(gè)透明基板(11)，所述至少一個(gè)透明基板具有第一側(cè)和與所述第一側(cè)相反的第二側(cè)，其中使用空間分辨率的至少一個(gè)光電傳感器(12)布置在所述第二側(cè)上，至少一個(gè)光源(13a-13h)布置在至少一個(gè)側(cè)上，并且具有晶格缺陷的金剛石(14)布置在所述基板(11)與所述光電傳感器(12)之間并且/或者具有晶格缺陷的金剛石(14)布置在所述基板(11)中并且/或者所述基板(11)是具有晶格缺陷的金剛石。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器(10)，其特征在于，所述晶格缺陷是NV缺陷。

3.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光源(13a-13h)布置在所述基板(11)的至少一個(gè)第三側(cè)上。

4.如權(quán)利要求3所述的傳感器(10)，其特征在于，至少一個(gè)光源(13a-13h)布置在每個(gè)第三側(cè)上。

5.如權(quán)利要求3或4所述的傳感器(10)，其特征在于，光學(xué)反射層(15)布置在所述第一側(cè)上。

6.如權(quán)利要求5所述的傳感器(10)，其特征在于，所述反射層(15)是所述傳感器(10)的外殼的一側(cè)。

7.如權(quán)利要求5或6所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光源(13a-13h)的照射方向在所述第一側(cè)的方向上成角度。

8.如權(quán)利要求5至7中的一項(xiàng)所述的傳感器(10)，其特征在于，彩色濾光片(16)布置在所述基板(10)與所述光電傳感器(12)之間。

9.如權(quán)利要求3至8中的一項(xiàng)所述的傳感器(10)，其特征在于，氣隙(17)布置在所述基板(10)與所述光電傳感器(12)之間。

10.如權(quán)利要求1至9中的一項(xiàng)所述的傳感器(10)，其特征在于，磁場發(fā)生器(50)布置在所述基板(11)周圍。

11.如權(quán)利要求1至10中的一項(xiàng)所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光電傳感器(12)具有至少一個(gè)傳感器元件，所述傳感器元件選自以下系列：至少8個(gè)光電二極管、一個(gè)PSD(121)、一個(gè)CCD相機(jī)和一個(gè)CMOS相機(jī)。

12.如權(quán)利要求11所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光電傳感器(12)具有傳感器元件，所述傳感器元件被配備為提供彼此具有不是0°、180°或360°的相移的第一輸出信號(hào)(I_a)和第二輸出信號(hào)(I_b)中的每一者。

13.如權(quán)利要求11所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光電傳感器(12)具有若干靈敏軸。

14.如權(quán)利要求13所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光電傳感器(12)具有兩個(gè)傳感器元件，所述兩個(gè)傳感器元件被配備為提供彼此相移180°的第一輸出信號(hào)(I_a)和第二輸出信號(hào)(I_b)中的每一者，其中所述兩個(gè)第一輸出信號(hào)(I_a)彼此具有不是0°、180°或360°的相移，其中所述傳感器元件形成所述光電傳感器(12)的兩個(gè)平行靈敏軸。

15.如權(quán)利要求13或14所述的傳感器(10)，其特征在于，所述光電傳感器(12)的所述兩個(gè)靈敏軸彼此正交布置。

16.一種磁場位置測(cè)量系統(tǒng)，其具有如權(quán)利要求1至15中的一項(xiàng)所述的傳感器(10)。

17.如權(quán)利要求16所述的磁場位置測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述磁場位置測(cè)量系統(tǒng)具有隨著改變的極性磁化、面向所述傳感器(10)的第一側(cè)的測(cè)量體(20)。