[發明專利]一種探頭式Mirau型白光干涉物鏡在審
| 申請號： | 202211520176.0 | 申請日： | 2022-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN115793197A | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發明（設計）人： | 李強;趙效楠;杜向麗 | 申請（專利權）人： | 蘇州中科行智智能科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00;G02B27/10;G01B9/02056 |
| 代理公司： | 北京市廣友專利事務所有限責任公司 11237 | 代理人： | 張仲波 |
| 地址： | 215124 江蘇省蘇州市蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 探頭 mirau 白光 干涉 物鏡 | ||
1.一種探頭式Mirau型白光干涉物鏡，其特征在于：所述物鏡從物側至像側依次為：具有正光焦度的第一膠合透鏡、具有正光焦度的第二膠合透鏡、平面鏡和膠合分光鏡，并且所述物鏡滿足以下條件：
0.1≤f2/f≤10
0.5≤f3/f≤10
其中，f為所述物鏡焦距；f2為所述第一膠合透鏡焦距；f3為所述第二膠合透鏡焦距。
2.根據權利要求1所述的物鏡，其特征在于，所述膠合分光鏡設計為差動螺旋結構，實現參考臂與樣品臂的光程相等。
3.根據權利要求2所述的物鏡，其特征在于，所述差動螺旋結構分別連接固定件和所述膠合分光鏡鏡筒，所述差動螺旋結構內上表面螺紋的牙距大于下表面螺紋的牙距；旋轉所述差動螺旋結構，當出現干涉條紋時，利用所述固定件將所述膠合分光鏡固定。
4.根據權利要求3所述的物鏡，其特征在于，所述差動螺旋結構內上表面螺紋的牙距為0.75毫米，下表面螺紋牙距為0.5毫米。
5.根據權利要求3所述的物鏡，其特征在于，所述固定件為螺釘固定件。
6.根據權利要求1所述的物鏡，其特征在于，所述平面鏡中心區域鍍有直徑為0.2毫米的圓形反射膜。
7.根據權利要求1所述的物鏡，其特征在于，所述物鏡的數值孔徑大于等于0.053小于等于0.2，最大鏡面反射角大于等于3.04小于等于11.8。
8.根據權利要求1所述的物鏡，其特征在于，兩個球面鏡膠合成所述第一膠合透鏡，兩個球面鏡膠合成所述第二膠合透鏡，兩個平面透鏡膠合成所述膠合分光鏡。
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