[發明專利]一種超高精度微球研拋一體機

有效

• 申請號: 202211501786.6
• 申請日: 2022-11-28
• 公開（公告）號: CN115972031B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 余家欣;朱波;段濤;葉嘉豪;趙斐;張玲;包琢鈺
• 申請（專利權）人: 西南科技大學
• 主分類號: B24B11/06
• 分類號: B24B11/06;B24B49/16;B24B57/02;B24B41/04;B24B55/00
• 代理公司: 綿陽遠卓弘睿知識產權代理事務所(普通合伙) 51371
• 代理人: 張忠慶

1.一種超高精度微球研拋一體機，包括機架以及設置在所述機架上的加壓機構，其特征在于：

下研拋機構，其滑動設置在所述機架上；

平移驅動機構，其設置在所述機架上，且所述平移驅動機構與所述下研拋機構傳動連接；

公轉機構，其設置在所述加壓機構上，且所述公轉機構傳動連接有多個上研拋機構，多個所述上研拋機構與所述下研拋機構對應設置；

多個保持架，其放置在所述下研拋機構上，且多個所述保持架分別與多個所述上研拋機構套設連接；

所述下研拋機構包括：

移動平板，其滑動連接在所述機架上，且所述移動平板與所述平移驅動機構傳動連接，所述移動平板上還貫通連接有安裝支架，所述機架上開設有腰型孔，所述安裝支架位于所述腰型孔內；

氣浮主軸，其設置在所述安裝支架內；

第一伺服電機，其連接有第一行星減速器，所述第一行星減速器固定設置在安裝支架上，且所述第一行星減速器與所述氣浮主軸的一端傳動連接；

下拋光盤，其底端中間位置與所述氣浮主軸的另一端固定連接；

用于測量所述下拋光盤與所述公轉機構偏心距的第一標尺，其固定連接在所述機架上；

所述加壓機構包括：

立柱，其固定連接在所述機架上；

直線導軌模組，其垂直安裝在所述立柱上；

滑動支架，其與所述直線導軌模組傳動連接，且所述滑動支架與所述公轉機構連接；

所述公轉機構包括：

L形安裝板，其一側與所述滑動支架滑動連接，且所述L形安裝板與所述滑動支架之間設置有壓力傳感機構，且所述L形安裝板上貫通連接有伺服電機座；

公轉伺服電機，其連接有第二減速器，且所述第二減速器固定連接在所述伺服電機座上；

公轉主軸，其通過多個軸承可轉動設置在所述伺服電機座內，且所述公轉主軸的一端與所述公轉伺服電機傳動連接；

公轉盤，其頂端中間位置與所述公轉主軸的另一端固定連接，多個所述上研拋機構對稱的設置在所述公轉盤上，且所述公轉盤滑動連接有修整環；

L形支架，其固定連接在所述滑動支架上，且所述L形支架上套設連接有螺栓，所述螺栓的頭部與所述L形支架抵靠，所述螺栓的底部與所述L形安裝板螺紋連接；

所述上研拋機構包括：

自轉電機，其固定連接在所述公轉盤的頂端；

第三減速器，其固定連接在所述公轉盤的底端，且所述第三減速器與所述自轉電機傳動連接；

上拋光盤，其頂端中間位置與所述第三減速器傳動連接，且所述上拋光盤連接有保持環，所述保持環與所述保持架套設連接。

2.根據權利要求1所述的一種超高精度微球研拋一體機，其特征在于，所述平移驅動機構包括：

第二伺服電機，其設置在所述機架上，且所述第二伺服電機傳動連接有第二行星減速器；

曲柄滑塊裝置，其一端與所述第二行星減速器傳動連接，所述曲柄滑塊裝置的另一端與所述移動平板傳動連接，所述曲柄滑塊裝置上還設置有用于測量其偏心距的第二標尺。

3.根據權利要求1所述的一種超高精度微球研拋一體機，其特征在于，所述壓力傳感機構包括：

L形架板，其與所述滑動支架固定連接；

壓力傳感器，其設置在所述L形架板上；

壓力撞塊，其頂端與所述L形安裝板固定連接，且所述壓力撞塊的底端與所述壓力傳感器抵靠。

4.根據權利要求1所述的一種超高精度微球研拋一體機，其特征在于，所述公轉盤滑動連接有修整環的方式為：

所述修整環上對稱的貫通開設有至少三個L形滑槽；

所述公轉盤的周壁上螺紋連接有多個限位螺釘，多個所述限位螺釘分別位于多個所述L形滑槽內，且各所述限位螺釘的頭部與所述修整環的外壁抵近。

5.根據權利要求1所述的一種超高精度微球研拋一體機，其特征在于，所述上拋光盤與所述第三減速器傳動連接的方式為：

所述上拋光盤的頂端中間位置一體成型凸出設置有套筒，且所套筒的周壁上對稱的開設有兩個腰型滑孔，所述第三減速器的傳動軸底部對稱設置有兩個撥叉，各所述撥叉滑動設置在所述腰型滑孔內，所述第三減速器的傳動軸上還套設有壓力彈簧，所述壓力彈簧的一端與所述第三減速器的壁面抵靠，所述壓力彈簧的另一端與所述套筒的頂端抵靠。

6.根據權利要求1所述的一種超高精度微球研拋一體機，其特征在于，還包括，拋光液循環裝置，其與所述下研拋機構連通設置，且所述修整環的底端對稱的開設有多個用于拋光液進出的第一缺口，所述保持環的底端對稱的開設有多個用于拋光液進出的第二缺口。