[發明專利]石英管切割設備及石英管開管方法

在審

• 申請號: 202211491271.2
• 申請日: 2022-11-25
• 公開（公告）號: CN115716308A
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 王鑫;李想;姚本東;許軍;游阿峰;趙倩
• 申請（專利權）人: 安徽光智科技有限公司
• 主分類號: B28D1/24
• 分類號: B28D1/24;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王浩

本發明公開了一種石英管切割設備，包括基座，基座上設有工作臺和刀架；工作臺頂部設有管體夾具，管體夾具具有定位孔，定位孔內設有與石英管套裝并聯動的滾動軸承，工作臺上還設置有能夠驅動管體夾具往復升降的升降驅動裝置以及能夠驅動工作臺沿水平方向往復移動的平移驅動裝置；刀架上設置有刀套，刀套的一端設置有與裝配于管體夾具中的石英管的切割端配合的旋轉刀頭，旋轉刀頭的轉動軸線與裝配于管體夾具中的石英管的軸線平行，工作臺上設置有控制旋轉刀頭啟停的電源開關。該石英管切割設備能夠優化石英管的切割作業方法，從而避免由石英管內取出退火片時對退火片造成污染和破壞。本發明還公開了一種應用了該石英管切割設備的石英管開管方法。

技術領域

本發明涉及石英管切割技術及配套器材領域，特別涉及一種石英管切割設備。本發明還涉及一種應用了該石英管切割設備的石英管開管方法。

背景技術

高純石英管具有潔凈度高、耐高溫、熱膨脹系數極小等特性，在熱處理工段中應用廣泛。在半導體材料研究過程中，高純石英管需要用于外延原生片的N型退火，即采用高純石英管在真空前提下封裝外延片，放入退火爐中進行加熱、恒溫、冷卻等處理。真空封管的目的是為了保證石英管內部幾乎沒有氧含量和水含量。

經過一定的退火工藝后，需要完整的取出石英管中的退火片，并且退火片表面不能有污染。常見的石英管切管機大多是在水流的環境下切穿石英管，并且以水流清除切割過程中伴隨的石英粉塵。切割過程中污染較大、切割精度粗糙，不能滿足潔凈度的要求。并且尤為需要注意的是，真空封管的退火管在切斷后一瞬間，管外壓強大于管內壓強，直接導致切割過程中伴隨的石英粉末或者水流會快速進入管內，污染退火片。

由于退火管厚度較大，強度較好，不易斷裂，對石英管實施直接破壞將損壞退火片，而采用常規的切割方法進行石英管切割則會污染退火片。這就對石英管內的退火片的取出造成了較大的困難，也給相關工藝的實施造成諸多不便。

因此，如何避免由石英管內取出退火片時對退火片造成污染和破壞是本領域技術人員目前需要解決的重要技術問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種石英管切割設備，該石英管切割設備能夠優化石英管的切割作業方法，從而避免由石英管內取出退火片時對退火片造成污染和破壞。本發明的另一目的是提供一種應用了該石英管切割設備的石英管開管方法。

為解決上述技術問題，本發明提供一種石英管切割設備，包括水平設置的基座，所述基座上移動設置有工作臺，所述基座上還設置有刀架；

所述工作臺的頂部設置有管體夾具，所述管體夾具中部具有供石英管貫穿的定位孔，所述定位孔內設置有與石英管套裝并聯動適配的滾動軸承，所述工作臺上還設置有能夠驅動所述管體夾具往復升降的升降驅動裝置以及能夠驅動所述工作臺沿水平方向往復移動的平移驅動裝置；

所述刀架上設置有刀套，所述刀套的一端設置有與裝配于所述管體夾具中的石英管的切割端配合的旋轉刀頭，所述旋轉刀頭的轉動軸線與裝配于所述管體夾具中的石英管的軸線平行，所述工作臺上設置有控制所述旋轉刀頭啟停的電源開關。

優選地，所述刀套中部具有水平延展的調整腔，所述調整腔內滑動設置有調節滑塊，所述調節滑塊的前端部聯動設置有調節連桿，所述調節連桿的前端部伸出于所述刀套并與所述旋轉刀頭同軸聯動連接。

優選地，所述刀套的側壁上自外而內插裝設置有伸入所述調整腔內的鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓的插入端與所述調節滑塊的外壁壓緊適配。

優選地，所述基座的中部具有安裝孔，所述安裝孔內嵌裝有轉動軸承，所述刀架的底端同軸插裝于所述轉動軸承內并與所述轉動軸承聯動。

優選地，所述刀架的底部設置有環形凸臺，所述環形凸臺上具有沿其周向延展的限位滑槽，所述限位滑槽內插裝有與所述基座螺紋配合的限位螺栓。

優選地，所述刀套的一端設置有限位膠塞，所述限位膠塞的中部具有供所述調節連桿同軸貫穿的限位孔。