[發明專利]一種電生理檢測與電刺激空間認知細胞的微納電極陣列

在審

• 申請號: 202211455978.8
• 申請日: 2022-11-21
• 公開（公告）號: CN116211311A
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發明（設計）人: 莫凡;蔡新霞;宋軼琳;景露易;徐威;胡瑞琳;賈千里
• 申請（專利權）人: 中國科學院空天信息創新研究院
• 主分類號: A61B5/293
• 分類號: A61B5/293;A61B5/369;A61N1/05;A61N1/36
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 李曉莉

1.一種電生理檢測和電刺激空間認知細胞的微納電極陣列，其特征在于，所述微納電極陣列包括：電生理檢測位點(1)、電屏蔽位點(2)、電刺激位點(3)、電生理導線(4)、電刺激導線(5)、焊盤位點(6)、焊盤導線(7)和基底(8)；所述電生理檢測位點(1)位于電刺激位點(3)和電屏蔽位點(2)之間；所述電屏蔽位點(2)內部設置有電生理檢測位點(1)和電刺激位點(3)；所述焊盤導線(7)分別與電生理導線(4)和電刺激導線(5)相連；所述電生理檢測位點(1)、電屏蔽位點(2)、電刺激位點(3)、電生理導線(4)、電刺激導線(5)、焊盤位點(6)和焊盤導線(7)均在基底(8)上；

優選的，所述電生理檢測位點(1)、電屏蔽位點(2)、電刺激位點(3)位于微納電極陣列前部尖端部分，焊盤位點(6)位于微納電極陣列后部，電生理檢測位點(1)通過電生理導線(4)和電極焊盤位點(6)相連；優選的，電刺激導線(5)數量為兩條，電刺激位點(3)通過一條電刺激導線(5)與焊盤位點(6)相連，電屏蔽位點(2)通過另一條電刺激導線(5)與焊盤位點(6)相連。

2.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電生理檢測位點(1)為直徑小于20微米且大于1微米的圓形，數量為16個，全部位于電刺激位點(3)和電屏蔽位點(2)之間。

3.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電屏蔽位點(2)寬度為50微米。

4.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電刺激位點(3)為直徑是250微米的圓形。

5.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電生理導線(4)線寬為5微米，數量與電生理檢測位點(1)相等。

6.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電刺激導線(5)線寬50微米。

7.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述焊盤位點(6)為方形，數量為18個。

8.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電生理檢測位點(1)，電屏蔽位點(2)，電刺激位點(3)，電生理導線(4)，電刺激導線(5)，焊盤位點(6)和焊盤導線(7)均在基底(8)上使用微機電工藝加工制造，其材料為SOI。

9.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電生理檢測位點(1)、電屏蔽位點(2)、電刺激位點(3)、電生理導線(4)、電刺激導線(5)、焊盤位點(6)和焊盤導線(7)材料均為鉑，其厚度均為250納米。

10.根據權利要求1所述的微納電極陣列，其特征在于，所述電生理導線(4)、電刺激導線(5)和焊盤導線(7)表面均覆蓋二氧化硅作為絕緣層，絕緣層厚度為800nm；

優選的，所述電生理檢測位點(1)表面電鍍鉑納米顆粒進行修飾，修飾后阻抗小于10千歐姆。